采用固相法烧结制备了Ag掺杂的La2/3Ca1/3MnO3(LCMO∶Agx，x为摩尔分数，x=0.00，0.05，0.10)多晶靶材，并利用此靶材采用脉冲激光沉积法(PLD)在0°和15°LaAlO3(100)单晶衬底(单面抛光)上于790 ℃和45 Pa流动氧压下制备了LCMO∶Agx外延薄膜，并于760 ℃和104 Pa静态氧压下进行了30 min原位退火处理； X射线衍射(XRD)和ω-θ摇摆曲线分析表明所制备薄膜均沿［00l］方向生长，并且结晶质量较好，原子力显微镜(AFM)分析表明平均面光洁度较小，并且随Ag掺杂量的增加而变小；另外在倾斜衬底上生长的LCMO∶Agx薄膜上观察到激光感生电压(LIV)效应，并且随Ag掺杂浓度的增加，LCMO∶Agx薄膜的LIV信号的Up值先增大后减小，x=0.05时最大，x=0.10时最小，LIV信号响应时间τ则正好相反。