1 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 绵阳 621900
2 大连理工大学, 大连 116023
3 长春光学机械研究所, 长春 130033
KBA显微镜是一种非轴对称、非共轴的掠入射成像系统。其结构复杂,调节精度要求很高,在实际成像实验操作中难以掌握其成像特性。利用光学设计软件模拟其成像,对系统的调节和成像分析提供有益的参考。利用光学设计软件ZEMAX模拟了KBA显微镜对点源的成像过程,给出了KBA显微镜成像系统的焦深约为1 mm,景深为50 mm左右。并且由模拟可知,掠入射角对成像的影响很大。对像素尺寸约10 μm的探测设备,模拟得出KBA成像系统的空间分辨力上限为3 μm左右。基于星光Ⅱ装置对周期为20 μm的网格靶成像,获得了KBA显微镜较为清晰的X光图像。该项工作为进一步开展掠入射成像系统的研究奠定了基础。
仪器 KBA显微镜 掠入射 光学设计
