1 哈尔滨工业大学 电气工程系,哈尔滨 150001
2 哈尔滨工业大学 可调谐激光技术国家级重点实验室,哈尔滨 150001
3 中国工程物理研究院 流体物理研究所,四川 绵阳 621000
描述了 Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源输出电压峰达30 kV,输出电流峰值大于40 kA,电流脉冲宽度200 ns,满足Z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。
Z箍缩 放电等离子体 极紫外光源 主脉冲 磁脉冲压缩 Z-pinch discharge produced plasma extreme ultraviolet source main pulse magnetic pulse compression
