1 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室, 吉林 长春 130012
2 西安交通大学机械工程学院, 陕西 西安 710049
飞秒激光直写技术(FsLDW)因其优异的三维加工能力、高空间分辨率、低附加损伤等优点被广泛地应用于微纳加工领域, 但传统飞秒激光直写技术在加工效率、加工面积和加工精度之间存在矛盾。为了实现高速、大面积、高精度的激光微纳加工, 构建了一种由大范围水平位移台和高速旋转台组成的极坐标系飞秒激光直写系统。基于该系统, 研究了轴对称样品中心对准方法及曲面曲率校准方法, 并在曲面上制备了多阶三维结构。最终完成了在透镜曲面上制备直径为10 mm的衍射圆光栅结构, 实现了飞秒激光高速、大尺寸、高精度地制备大面积三维结构。该研究为高性能折衍混合光学元件的制备提供了有力的技术支持。
激光光学 衍射光学元件 飞秒激光直写 极坐标系扫描
1 吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区, 吉林 长春 130012
2 西安交通大学机械工程学院, 陕西 西安 710049
液相脉冲激光烧蚀法(PLAL)具有绿色环保、适用范围广及可制备复合材料等优点, 受到学术界的广泛关注, 但是较低的制备效率限制了它进一步发展。将微流控技术与液相脉冲激光烧蚀法相结合, 在硅基微流控芯片中实现了快速高效制备晶格型(400~800 nm)和球型(100~300 nm)硅纳米结构。通过扫描电子显微镜和光谱仪对其形貌结构及分布情况进行了测试表征, 获得了微流控流速、激光烧蚀功率与纳米粒子制备效率之间的关系。该方法将液相脉冲激光烧蚀法的最高制备效率提高了30%以上, 达到87.5 mg/min, 为将来液相脉冲激光烧蚀法工业化生产提供一种新的技术路线。
激光制造 液相脉冲激光烧蚀法 制备效率 微流体 硅纳米结构
