1 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031
2 天津大学激光与光电子技术研究所, 天津 300072
研究了ArF准分子激光振荡放大系统,中心波长193 nm。用一只闸流管作为开关元件,通过主充放电网络匹配,有效地解决了两台器件的放电抖动,振荡放大倍数达到约50倍,系统单脉冲输出能量50 mJ。光束发散角低于0.20 mrad。
ArF准分子激光 振荡放大
通过采用多级L-C峰化回路、增大输出镜反射率、改变HCl浓度的方法,使XeCl准分子激光的脉冲宽度达到150 ns以上(最大脉宽达175 ns),单脉冲能量大于120 mJ。同时对紫外准分子激光的光纤耦合系统进行了研究,直径为0.4,0.6,0.8,1.5 mm的紫外石英光纤的耦合输出能量分别为10,29,39,58 mJ。
长脉宽 XeCl激光 光纤耦合
本文报道了用308 nm XeCl激光消融聚合物及生物组织和角膜刻划的研究结果,并与1.06 μm和0.53 μm的纳秒、皮秒YAG激光消融生物组织的结果作了对比。
准分子激光 消融 能流密度 聚甲基丙烯酸甲酯