1 山东大学光学系,济南 250100
2 山东大学物理系,济南 250100
3 山东大学晶体材料研究所,济南 250100
研究了不同退火条件对氢离子和氦离子注入铌酸锂平面波导中折射率分布的影响。在不同时间和温度下退火处理后用棱镜耦合法测量了两种波导的暗模, 并给出退火处理前后两种波导的折射率分布。实验结果表明两种离子的注入均造成了损伤层中正常折射率的减小, 而反常折射率在波导区却有所增加。退火处理对损伤层中的正常折射率分布影响较明显, 而在400 ℃以下反常折射率几乎不受退火处理的影响。
离子注入波导 铌酸锂 退火 折射率分布
1 山东大学物理系, 济南 250100
2 北京大学重离子物理研究所, 北京 100871
用能量为2.8 MeV、剂量为1.4×1016 ion/cm2的He+在室温(300 K)下注入到晶体材料LiTaO3中,形成了离子注入平板光波导。用棱镜耦合法观察和测量了LiTaO3波导导模的分布,并对退火前后的LiTaO3波导的折射率分布进行了计算和比较。利用背散射沟道技术分析了由于He+的注入而引起的波导表面的损伤。
离子注入光波导 折射率 背散射分析
