上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海200093
狭缝波导由于具有将光场限制在中间空气狭缝区域中传输的特性,使其可用来提高太赫兹集成器件的性能。为了分析狭缝波导结构的太赫兹场的传输特性,利用二维有限时域差分法(COMSOL光学模块)得到了硅材质的狭缝波导在波长为450 μm时的太赫兹场的传输模式和频带宽度,并获得了狭缝波导结构参数与狭缝区域太赫兹场限制能力的关系以及与频带宽度的关系。研究结果为太赫兹狭缝波导的设计提供了参考。
狭缝波导 太赫兹 集成光学 准导模 频带宽度 slot waveguide terahertz integrated optics quasi-guided mode bandwidth
1 同济大学 物理科学与工程学院 先进微结构材料教育部重点实验室,上海200092
2 上海应用技术学院 理学院,上海201418
研究了不同溅射气压条件下磁控溅射制备W/Si多层膜过程中的应力变化,使用X射线衍射仪测量了多层膜的结构,使用实时应力测量装置研究W/Si多层膜沉积过程中的应力演变。结果表明,在溅射气压从0.05 Pa增加到1.10 Pa的过程中,薄膜沉积过程中产生的压应力不断减小并最终过渡为张应力,应力值在溅射气压为0.60 Pa时最小,研究结果对减小膜层应力具有指导意义。
应力 多层膜 磁控溅射 溅射气压 stress multilayers magnetron sputtering sputtering pressure W/Si W/Si
