1 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术联合国家重点实验室, 上海 200083
2 中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083
提出一种集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型近红外光谱模组.作为核心分光元件, 线性渐变滤光片被紧密耦合在光敏芯片表面.相比于光栅分光方式, 模组具有紧凑的光学结构和稳定的光学特性.对此光谱模组进行波长定标实验, 并给出了标定准确性评价.实验结果表明, 该光谱模组的波长范围为900~1 700 nm, 波长准确性优于1.3 nm, 光谱分辨率小于通道中心波长的1.25%.基于此光谱模组的波长定标方法准确、可行, 可以被用于微型近红外仪等在线光谱分析领域.
光谱学 焦平面 线性渐变滤光片 波长定标 Spectroscopic InGaAs InGaAs Focal plane arrays Linear variable filter Calibration accuracy
1 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术联合国家重点实验室,上海 200083
2 中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
研制基于线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型化物联网节点，实现长波近红外光谱数据的采集和无线传输，针对节点的波长范围、分辨率、波长准确性和波长稳定性等参数指标开展性能研究实验.实验结果表明，节点的波长范围为950~1700 nm，光谱分辨率随波长增加而增大，约为峰值波长的1%，与滤光片特性相符，波长准确性优于1.3 nm，波长重复性优于0.1 nm，可以满足物联网中的近红外光谱分析应用需求.
光谱学 物联网节点 InGaAs焦平面阵列 线性渐变滤光片 无线通信 spectroscopy IOT node InGaAs focal plane array linear variable filter wireless communication
