西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072
结合风洞检测剪应力对高灵敏度和高响应频率传感器的设计要求,提出了基于莫尔效应转化敏感元件位移的微型光栅式剪应力测量方式.针对传感器的机械灵敏度、线性度和谐振频率的应用要求对敏感元件进行设计,并在敏感元件结构设计尺寸的基础上对莫尔条纹灵敏度及其相位变化进行分析计算,完成微型光栅式剪应力传感器的结构设计流程.
微传感器 莫尔效应 灵敏度 谐振频率
西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072
在波前校正中,环形阵列的分立式微变形镜充分利用了各个单元.环形阵列的分立式微变形镜有等单元面积和等单元宽度两种设计准则,以37单元环形阵列微变形镜为例,从校正波前适配误差和校正后剩余波前的Strehl比两方面对两种设计准则进行比较.结果表明,采用等单元面积设计的环形微变形镜校正畸变波前的性能更好.特别是波前畸变严重时,这种效果更加明显.
微机电系统 环形微变形镜 波前适配误差 Strehl比
西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072
采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比两方面比较了四种不同单元排列方式的微变形镜.结果表明方形与砖形排列的微变形镜设计简单,但波前校正性能较差;圆形及蜂窝形微变形镜具有较高的波前校正性能,但设计加工复杂.
微机电系统(MEMS) 自适应光学 微变形镜 排列方式
