为了得到较理想的激光刻蚀结果, 采用355nm固体紫外激光, 分别在空气与水中进行了氧化铝陶瓷片激光刻蚀实验。对激光主要参量如脉冲能量密度、激光扫描速率、激光重复频率等对水下刻蚀深度和质量的影响进行了对比研究; 对激光刻蚀的机理以及水辅助刻蚀的物理过程进行了分析, 分别得到了紫外激光在空气中与水下的刻蚀形貌与不同激光参量下的刻蚀深度数据。结果表明, 水辅助激光刻蚀可以提高刻蚀效率, 改善刻蚀质量; 水下激光刻蚀深度与激光的脉冲能量密度、加工速率、重复频率和水的深度等参量有密切的关系; 水辅助激光刻蚀过程中水的冷却作用以及产生的空泡有效防止去蚀材料的二次黏附, 避免变质层的形成, 既提高了刻蚀质量, 同时也增加了刻蚀深度。

尝试了利用激光进行石英陶瓷刻蚀加工的方法，采用紫外激光器和光纤激光器进行了刻蚀加工实验。加工样品的测试由台阶测试仪以及扫描电镜(SEM)完成，主要观测加工样品的刻蚀深度、刻蚀底面的微观形貌等。实验结果表明，利用激光对石英陶瓷进行刻蚀加工，相对于砂纸或金刚石刻蚀其优点在于激光可以刻蚀出设定的准三维立体结构，刻蚀尺寸、深度可以精确控制。刻蚀量与激光的能量密度、扫描速度等有密切关系。光化学作用与光热作用原理的不同是造成紫外激光和光纤激光的刻蚀结果不同的主要因素。