1 中国科学院西安光学精密机械研究所， 陕西 西安 710119
2 中国科学院研究生院， 北京 100039
3 上海微小卫星工程中心， 上海 200050
在瑞奇-康芒检测中，被检平面本身所固有的像散和大曲率在被检系统波像差数据中都表现为像散。由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难，只能进行定性或半定量检测。文中介绍了如何通过计算机光线追迹模拟瑞奇-康芒检验，在两个瑞奇角下得到两组影响函数，以此建立过定方程组，由干涉仪检测得到的两个不同瑞奇角下的系统波像差，通过最小二乘法解过定方程组，拟合得到被检平面镜的面形误差；实现了大口径平面镜的定量检测，并以平面镜直接检验的面形误差作为对比，检验结果的一致验证了该方法的准确性与可行性。
光学检测 瑞奇-康芒检验 波像差 影响函数 optics test Ritchey-Common test wavefront aberration influence function
1 中国科学院 西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119
2 中国科学院 研究生院,北京 100039
针对含有离轴非球面的两镜光学系统,利用三阶矢量波像差理论建立了离轴抛物面主镜的波像差模型和系统内失调量与波像差泽尼克多项式系数的关系模型。在对复杂光学系统的粗装调完成后,利用高精度的自准干涉检测以得到系统各个视场的干涉图,处理后得到系统的波像差,并以泽尼克多项式系数表示;对比理想系统的波像差得到系统波像差的变化量,代入失调模型中,计算出系统元件失调量,以此为依据对系统进行调整。以无遮栏、大口径、长焦距离轴二镜光学系统为模型进行了仿真计算,结果表明,基于矢量波像差理论的计算机辅助装调技术可行,并可用于大型光学系统的装调。
光学设计 应用光学 计算机辅助装调 矢量波像差 泽尼克多项式系数 离轴抛物面 激光与光电子学进展
2010, 47(8): 082202
