1 上海工程技术大学基础教学学院, 上海 201600
2 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
利用飞秒激光对ZnO晶体进行辐照，对辐照前后的晶体样品进行发光光谱及拉曼光谱检测。辐照后发光光谱的某些发光峰强度有明显增强，但未产生新的发光峰，表明没有新的缺陷结构产生，但晶体内锌空位、间隙位锌、间隙位缺陷浓度增加。拉曼光谱结果表明，辐照后ZnO晶体未产生相变，但随着辐照激光功率的增大，拉曼峰327 cm-1，437 cm-1强度明显减弱，表明在飞秒激光辐照作用下氧化锌的结晶程度下降。但574 cm-1峰值却随着辐照功率的增大而变大，分析表明该拉曼峰很可能是由于晶体内间隙位缺陷所致。同时实验过程中观察到飞秒激光倍频光产生。
飞秒激光 晶体缺陷 发光光谱 拉曼光谱 ZnO晶体 激光与光电子学进展
2007, 44(11): 31
1 上海工程技术大学基础教学学院, 上海 201600
2 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
利用低功率飞秒激光振荡器进行材料表面加工的研究并将其应用于微光学元件的加工制作领域;对飞秒激光倍频光以及飞秒激光与光刻胶材料相互作用进行了实验;以光刻胶作为牺牲层进行表面加工获得了各种玻璃光栅及光掩模板;利用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对实验结果进行检测，得到微米量级的特征线宽;所得光栅的光学性能通过He-Ne激光器进行检测，实验结果与理论值一致。该研究为微光学元件的加工制作提供了新的方法。
激光技术 飞秒激光 表面加工 烧蚀 微光学
1 中科院上海光机所信息光学实验室,上海 201800
2 上海大学物理系,上海 200436
综述了飞秒激光进行材料加工的多种机理和理论;主要介绍了飞秒激光对玻璃、石英、金属、聚合物等各种材料加工的最新研究进展状况及各方面的应用;飞秒激光加工是门新兴的学科,具有重要的应用前景。
飞秒激光 微加工 烧蚀 非线性吸收
