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同名作者【宁兆元】论文列表

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光纤光学与光通信

微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN_x薄膜的光学性能研究

叶超 ¹宁兆元 ¹项苏留 ²沈明荣 ¹[ ... ]甘肇强 ¹

作者单位

摘要

¹ 苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室, 苏州 215006

² 苏州大学分析测试中心, 苏州 215006

研究了微波电子回旋共振-化学气相沉积SiNx薄膜的光学性能,这种SiNx薄膜具有透光谱宽、透光率高的特点,总结了透光谱、折射率、光隙能随微波功率、基片温度的变化关系。

氮化硅薄膜光学性能微波电子回旋共振-化学气相沉积

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光学学报

1997, 17(4): 489

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