1 电子工程学院,安徽 合肥 230037
2 红外与低温等离子体安徽省重点实验室,安徽 合肥 230037
3 脉冲功率激光技术国家重点实验室,安徽 合肥 230037
为实现对 VO2薄膜光学常数的测量,本文在全光谱拟合法的基础上,首先利用导纳矩阵法推导出透射率 T与薄膜厚度 d、折射率 n以及消光系数 k的函数关系,然后利用单纯形法得到其优化函数。最后采用 Matlab编程方法对低温态、高温态 VO2薄膜的红外透射率进行了全光谱拟合,得到折射率和消光系数等 VO2薄膜光学常数的拟合曲线。结果表明:拟合曲线与已有研究结果及实测曲线基本吻合。采用全光谱拟合方法得到的光学常数能较准确的对 VO2薄膜进行描述,为最佳膜厚设计提供了依据。此外,为更简便地描述 VO2薄膜的光学常数,本文还引入了 Cauchy色散模型方程,对全光谱拟合方法得到的中远红外波段(2.5~15 μm)的光学常数结果进行了拟合。
薄膜光学 VO2薄膜 全光谱拟合 单纯形法 Cauchy色散模型 film optics VO2 thin films whole optical spectrum fitting simplex method Cauchy dispersion model