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光学设计
固体浸没式红外超表面透镜设计
下载:584次
邓三泳
1
岳嵩
2
张东亮
1
刘昭君
1
[ ... ]
祝连庆
1
作者单位
摘要
1
北京信息科技大学,北京 100192
2
中国科学院微电子研究所,北京 100029
红外焦平面阵列在各类红外成像系统中发挥着巨大的作用。为提升红外焦平面的工作温度、量子效率和灵敏度,通常使用微透镜阵列作为红外焦平面的聚光器。当前微透镜阵列的制作材料通常与红外探测器材料不同,因此在集成装配时需要额外的工艺手段,工艺难度较大且效率较低。利用微纳光学超表面技术体系,可以在红外探测器衬底材料上直接制作平面式的固体浸没型微透镜阵列,实现前置微透镜与红外焦平面的单片集成。文中以红外探测领域最有潜力的锑化物Ⅱ类超晶格红外探测器为应用目标,设计了一种基于GaSb衬底的固体浸没式红外超表面透镜。设计的超表面透镜在中波红外波段工作,能适用于所有入射偏振。器件设计焦距为100 μm,理论上在目标波长下的最高聚焦效率达到70.7%,数值孔径(NA)达到1.15。该设计可以推动微透镜阵列向扁平、超薄、轻量的方向发展,简化微透镜阵列与红外焦平面阵列的集成工艺,有望提升红外焦平面的探测效率,并降低制造成本。
超表面透镜
固体浸没
中波红外
传输相位
偏振不敏感
metalens
solid-immersion
mid-wave infrared
transmission phase
polarization insensitive
PDF全文
Full Text
红外与激光工程
2022, 51(3): 20210360
材料与薄膜
利用高阶表面等离子体共振实现窄带完美吸收
岳嵩
1
王然
1
侯茂菁
1
黄刚
2
张紫辰
1
作者单位
摘要
1
中国科学院微电子研究所,北京 100029
2
四川智溢实业有限公司,四川 成都 610041
超材料完美吸波体是一种典型的电磁功能材料,在包括高效太阳能利用等领域有巨大的应用前景。迄今的工作主要集中在工作波长的可调谐性以及双波段、三波段甚至宽带吸收方面。激光防护等特殊应用要求超材料完美吸波体在指定波长附近拥有窄带吸收性能,然而这方面的研究当前还比较少。基于铝反射镜-SiO
2
介质层-铝圆盘的三层结构,设计并数值模拟研究了一种工作在1 064 nm的窄带超材料完美吸波体。通过对比发现,相比于利用小尺寸结构单元的表面等离子体振荡基模,利用大尺寸结构单元的表面等离子体振荡高阶模式,可以在指定波长处得到线宽更窄的完美吸收效果。进一步,通过对介质层厚度、圆盘直径和晶格周期等主要结构参数进行系统研究,揭示了各个结构参量对于超材料完美吸波体光学响应的影响规律。在此基础上,通过对结构参数的优化,最终得到了透过率为0、反射率低至8.56×10
?5
、模式线宽约为55 nm的高性能、窄带超材料完美吸波体设计。由于该工作中涉及的所有材料均CMOS兼容,同时结构单元的特征尺寸也处于光刻技术易于加工的区间,因此拥有良好的大规模实际应用前景。
超材料
表面等离子体
窄带完美吸波体
CMOS兼容
偏振不敏感
metamaterial
plasmonics
narrow-band perfect absorber
CMOS compatibility
polarization insensitive
PDF全文
Full Text
红外与激光工程
2020, 49(5): 20190489
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