1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 光驰科技(上海)有限公司, 上海 200444
为提高手机显示屏的耐摩擦、防划伤能力,降低显示屏破碎的风险,研制了在可见光波段的硬质增透膜。通过逐步提高设计中SixNy膜层厚度在薄膜总厚度中所占的比例,优化沉积工艺,改善薄膜硬度。根据增透膜的设计理论、合理的膜层分组方式和逆向反演分析法完成膜系设计,降低了薄膜反射率。测试结果表明,在可见光波段范围内,薄膜的平均反射率为0.58%,硬度达到15.99 GPa。
光学薄膜 增透膜 逆向反演分析法 硬度 反射率 激光与光电子学进展
2020, 57(15): 153101
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 光驰科技(上海)有限公司, 上海 200444
随着图像识别技术的不断发展,人脸识别系统对虹膜识别滤光片的要求不断提高,光在大角度入射时,光谱偏移量往往较大而导致识别失败,因此急需一种低角度效应良好的带通滤光片。利用光谱拆分原理设计了一种大角度、小偏移量的带通滤光片。通过调节氢气流量使得Si-H在增大折射率的同时仍能保持较低的吸收率,从而改善虹膜识别滤光片的角度效应。基于对薄膜材料沉积工艺的研究,采用一种特殊的膜系结构,解决了因薄膜内部结构疏松而发生的脱膜问题。测试结果表明,该膜系结构能满足虹膜识别滤光片的各项技术要求。
薄膜 虹膜识别 带通滤光片 拆分技术 角度效应 折射率 光学学报
2019, 39(11): 1131002
