为了验证束流强度分布对膜厚的影响，通过束流分布的理论计算模拟出外延膜的分布，并与外延实验样品数据进行了对比，结果证实了我们的猜测，可以部分解释膜厚分布不均的情况。利用公式计算束流强度的分布，得出最薄点应为最厚点的73.26%。实验测试的膜厚的最厚点为8.1582 m，最薄点为5.9362 m，比例为72.76%，与计算结果基本相符。因此，可以确定束流强度分布对膜厚有一定的影响。但实际材料的膜厚不仅受束流分布的影响，还与其他工艺参数相关。由于采用了理论计算与实验相互对比的方法，比单纯实验所得出的结果更准确可靠。
硅基衬底 束流分布 MBE MBE silicon substrate beam distribution
中国人民解放军战略支援部队信息工程大学, 郑州 450002
提出了一种新型的频率选择表面, 该结构具有良好的高频透射性能和较低频带的宽带吸收性能。吸收频率选择表面结构由有损层和带通层组成。通过等效电路法的分析, 有损层应该在通带内产生并联谐振, 因此给出了具体的等效电路模型并在ADS中进行了验证。在有损层的设计中, 在金属交叉贴片中加载两个电阻使其分为两部分实现了并联谐振。带通层利用无损耗槽型频率选择表面实现。仿真结果表明, 在12.75 GHz时只有0.7 dB的插入损耗, 并且实现了4.8 GHz到11.2 GHz的宽带吸收。最后, 制作了实物并进行了测试, 实验结果与仿真结果吻合得很好。
频率选择表面 雷达散射截面 宽带吸收 传输 并联谐振 frequency selective surface radar cross section wideband absorption transmission parallel resonance 强激光与粒子束
2019, 31(10): 103222
