作者单位
摘要
西安工业大学 光电工程学院,西安 710021
利用等效介质理论计算出区熔硅微纳米结构的几何尺寸,然后在有限元模拟的基础上建立了光学模型。研究了在长波红外(8~12 μm)范围内的抗反射效果,并分别分析了表面形貌和结构特征尺寸对透射率的影响。通过自由基等离子源刻蚀技术和低能量离子束刻蚀技术联合制备的方式,在硅表面形成了具有抗反射自清洁功能的微纳米复合结构。测得其透射率为78%,静态接触角为125.77°,并对所得结构进一步分析,实验结果表明:在长波红外范围微纳米复合结构的抗反射性能优于仅存在单一微米结构时,且纳米级别的微结构对红外波段减反射作用并不明显,微米结构是提升硅材料表面长波红外范围透射率的主要因素;具有微纳复合结构的材料表面张力大于单一微/纳米结构,与理论模拟结果一致,表明微纳米结构的存在能够有效改善硅表面的疏水能力。
区熔硅 疏水性 微纳结构 亚波长 自由基等离子体源 低能离子束 Zone-melted silicon hydrophobic property Micro/nano structure Subwavelength Free radical plasma source Low energy ion beam 
光子学报
2023, 52(6): 0623002
作者单位
摘要
1 西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710021
2 西安工业大学兵器科学与技术学院, 陕西 西安 710021
随着身管射击类**发射速率及弹药量的增大, 对内膛镀层的机械特性提出了更高的要求, 使得传统的电镀铬工艺已逐渐无法满足其需求。因此采用真空电弧离子镀技术在PCrNi3MoV合金钢(特种钢)基体表面以相同工艺分别制备了厚度为20 μm和50 μm的金属铬镀层, 并对其表面形貌、力学和摩擦学相关性能进行检测。通过研究镀层厚度对形貌的影响, 发现沉积较厚的镀层对减少表面缺陷、提高表面质量有着积极作用; 通过测试基体表面镀膜前后的力学和摩擦学相关性能参数, 得出镀层摩擦系数在0.32~0.42之间, 比目前国内使用电弧离子镀技术制备的Cr镀层摩擦系数(0.35~0.45)降低了0.02, 与基体结合强度为45.3 N, 显微硬度达到15.01 GPa。在对比镀层厚度对表面耐磨性的研究过程中发现, 沉积较厚的镀层有利于耐磨性的提升, 其中50 μm厚Cr镀层经过1 800次摩擦后表面仅有轻微磨损, 其磨损率为0.000 13 mm3/(N·m), 耐磨性较之未镀膜的基体提高了75.93% , 这将对延长射击类**的身管服役时效及推进防护涂层事业的发展有着重要意义。
电弧离子镀 Cr镀层 表面形貌 机械特性 耐磨性 arc ion plating Cr plating surface morphology mechanical properties wear resistance 
光学与光电技术
2023, 21(1): 64
作者单位
摘要
西安工业大学光电工程学院,陕西 西安 710021
为实现铌酸锂光学器件的高效集成,在其表面制备亚波长结构是实现其光学特性的最佳方式。然而,目前使用的聚焦离子束刻蚀、激光刻蚀、湿法刻蚀等方法很难简单、经济、较快地制备铌酸锂亚波长结构。鉴于此,本课题组基于有限元仿真及低能离子束刻蚀技术,研究了不同离子束参数下刻蚀的铌酸锂亚波长结构及其透射率。采用Lambda950分光光度计和原子力显微镜分别对刻蚀后的铌酸锂样品的透射率、均方根粗糙度、纳米结构的纵向高度和表面形貌进行了分析。结果表明:当离子束入射角度为70°、入射能量大于600 eV、束流大于40 mA、刻蚀时间大于60 min时,铌酸锂样品表面形成了大面积的锥形纳米结构,并且纳米结构的高度随着离子束刻蚀参数的增大而增大;在可见光波段,铌酸锂表面纳米结构越高,增透效果就越明显;当入射能量为1000 eV、离子束束流为40 mA、入射角度为70°、刻蚀时间为120 min时,铌酸锂表面刻蚀出了纵向高度为143.5 nm的锥形结构,此时在可见光范围内铌酸锂样片的峰值透射率为83.5%,相较于原片的透射率提高了约12.5个百分点。
表面光学 铌酸锂 亚波长结构 光学性能 离子束刻蚀 透射率 
中国激光
2023, 50(1): 0113018
作者单位
摘要
西安工业大学 光电工程学院 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安 710021
提出一种异质材料双层微金字塔结构耦合空间光调制的光子纳米射流光学元件,实现了光子纳米射流的动态可调。通过时域有限差分法进行仿真计算,分析了微结构与背景折射率对比度减小时,光子纳米射流性能特征变化的基本规律。研究结果表明,改变液晶分子的旋转角,焦距变化范围由6.1λ达到了22.3λ,衰减长度最长达到36.5λ,与双层微球结构耦合液晶光子纳米射流相比提高了10λ。随着微结构与背景介质折射率之比的减小,半高全宽增大,聚焦效率的调节范围可以达到16.9%~43.2%,此时,焦点逐渐远离微结构,能量向远场传输。借助于液晶这一空间光调制手段,双层微金字塔结构光子纳米射流实现了大范围的焦距调节和超长的传播长度,为光子纳米射流在光电探测、光学捕获等方面的应用提供理论支持。
Mie散射理论 光子纳米射流 时域有限差分 空间光调制 微纳功能结构 Mie scattering theory Photonic nanojet Finite difference time domain Spatial light modulation Micronano functional structure 
光子学报
2022, 51(12): 1223001
作者单位
摘要
西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 陕西 西安 710021
聚偏二氟乙烯(PVDF)及其共聚物薄膜拥有极佳的电活性、较高的衍射效率、显著的非线性光学效应,广泛应用于光电转换、光调控、光开关等光电功能器件等。本文简要介绍了近年来PVDF及其共聚物薄膜非线性光学研究方面的主要进展,指出该类薄膜共混、纳米掺杂、超薄化的发展方向。同时指出需从第一性原理-光子带隙计算着手研究其非线性光学性质,以高灵敏度Z-扫描及马克条纹法结合椭偏为主要测量方式。本综述将为该类薄膜的非线性光学研究及制备提供一定的参考。
聚偏二氟乙烯及其共聚物 薄膜 铁电 非线性光学 polyvinylidene fluoride (PVDF) and it’s copolymers ultrathin films ferroelectricity nonlinear optics (NLO) 
中国光学
2022, 15(4): 640
作者单位
摘要
西安工业大学 光电工程学院,陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 西安710021
使用实验室自主研发的等离子抛光与刻蚀系统,研究了不同入射能量下不锈钢杂质辅助Ar+离子束刻蚀蓝宝石表面自组织纳米结构的形成机制。采用Taylor Surf CCI2000非接触式表面测量仪和原子力显微镜分别对刻蚀后蓝宝石样品的粗糙度、纳米结构的纵向高度和表面形貌进行了分析。研究表明:引入不锈钢杂质后,当离子束入射角度为65°、束流密度为487 μA/cm2、刻蚀时间为60 min、离子束入射能量为1 000 eV时,蓝宝石样品表面出现了纵向高度为11.1 nm高度有序的条纹状纳米结构;随着入射能量的增加,表面开始出现岛状纳米结构;当入射能量为1 200 eV时,形成了岛状与条纹状相结合的纳米结构,其纵向高度为13.6 nm;入射能量继续增加,蓝宝石表面岛状结构密度变大;当入射能量达1 400 eV时,样品表面岛状结构的纵向高 度为18.8 nm;入射能量为1 600 eV时,样品表面出现较为有序且密集的岛状结构,其纵向高度为20.1 nm。自组织纳米结构先是以“条纹”形状出现,随着入射能量的增加,引入的金属杂质打破了在离子束溅射过程中表面生长机制和表面平滑机制的平衡状态,形成了岛状结构,该结构促进了纳米结构的生长,改变了纳米结构的有序性。
自组织纳米结构 低能Ar+离子束 杂质共沉积 岛状纳米结构 蓝宝石 表面形貌 Self-orgsnized nanostructures Low energy Ar+ ion beam Impurity co-deposition Island nanostructure Sapphire Surface morphology 
光子学报
2021, 50(2): 183
作者单位
摘要
西安工业大学 光电工程学院 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西 西安 710021
使用微波回旋共振离子源刻蚀蓝宝石(C向)表面,引入金属不锈钢杂质,研究了不同靶距处蓝宝石表面自组织纳米结构的演化规律及光学性能。采用原子力显微镜来观察样品表面的形貌变化,Taylor Surf CCI 2000白光干涉表面测量仪测量蓝宝石样片表面的粗糙度;选择X射线光电子能谱对样品表面的化学成分进行了表征。实验结果表明:当离子束能量为1000 eV,束流密度为487 μA/cm2,入射角度为65°,刻蚀时间为60 min,蓝宝石样片与杂质靶距离从1 cm增加到4 cm时,样片表面出现岛状结构并逐渐演变为连续的条纹结构。同时,自组织纳米结构随靶距增加,有序性增加,纵向高度逐渐减小,空间频率基本不变。刻蚀后样品表面的金属杂质残留很少,微结构的形成对蓝宝石具有增透作用。在离子束溅射过程中,岛状结构的出现促进了样品表面条纹纳米结构的生长,破坏了纳米结构的有序性。
自组织纳米结构 表面形貌 表面粗糙度(RMS) 蓝宝石 离子束 原子力显微镜 self-organized nanostructure surface morphology surface roughness (RMS) sapphire ion beam atomic force microscope (AFM) 
红外与激光工程
2021, 50(2): 20200302
作者单位
摘要
西安工业大学 光电工程学院 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 陕西 西安 710021
KDP晶体在惯性约束核聚变光学系统中具有十分重要的作用, 针对如何制造出满足应用要求的KDP晶体元件仍然是一个难点的问题。进行了采用飞切加工技术对KDP晶体平面元件的加工工艺研究。介绍了飞切加工的技术原理, 以及影响表面粗糙度的因素; 通过相应的工艺实验, 对KDP晶体加工检测过程中可能影响表面粗糙度的各个因素进行了研究。实验结果表明: 金刚石刀具参数、加工参数、以及加工后表面清洁方式都会影响表面粗糙度, 但是金刚石刀具参数对表面粗糙度的影响最大。采用前角为-45°、圆弧半径为5.0mm的金刚石刀具, 以及最优的加工参数, 可以获得表面粗糙度Sa优于1nm的超光滑表面。研究结果对飞切加工KDP晶体平面元件提供了有效的工艺方案, 具有广泛的工程应用价值。
单点金刚石切削 飞切 KDP晶体 表面粗糙度 single point diamond turning fly-cutting KDP crystal surface roughness 
光学技术
2020, 46(6): 757
作者单位
摘要
西安工业大学 光电工程学院, 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室, 西安 710021
使用微波回旋共振离子源制备蓝宝石(A向)自组织纳米结构, 研究不同入射角度下Kr+离子束刻蚀蓝宝石表面形成的自组织纳米结构及其形成过程.采用等离子体与离子束刻蚀设备在不同入射角度下对蓝宝石样品表面进行刻蚀并通过Taylor Surf CCI2000非接触式表面测量仪和原子力显微镜分别对刻蚀后的蓝宝石样品的刻蚀速率及表面形貌进行分析.研究表明: 当离子束能量为400 eV,加速电压为200 V,离子束流密度为310 μA/cm2时, 小角度入射下, 蓝宝石样品表面出现纵向尺度较小的有序点状纳米结构; 随着入射角度的增加, 样品表面形成条纹状纳米结构, 30°时形成短程有序且纵横比为0.87的条纹状结构; 入射角度继续增加, 纵向高度减小直至纳米结构消失; 当角度达到60°附近, 蓝宝石表面又出现条纹状结构, 70°时形成了短程有序且纵横比为1.07的条纹状结构.自组织纳米结构的形成先以“岛状”形式出现, 随后岛上生长出条纹状纳米结构, 随着刻蚀时间的增加, 岛状条纹结构纵向尺度增大且有序性增强, 纳米结构的横向周期不变.
低能Kr+离子束 自组织纳米结构 条纹状纳米结构 蓝宝石 表面形貌 刻蚀速率 原子力显微镜 Low energy Kr+ ion beam Self-organized nanostructure Striped nanostructures Sapphire Surface morphology Etching rate Atomic force microscope 
光子学报
2019, 48(6): 0616004
作者单位
摘要
西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710032
在不同氪(Kr)离子束参数下,研究了微波回旋共振离子源对旋转蓝宝石样片表面的刻蚀效果。采用四因素三水平正交实验,分析了Kr +离子束的入射角度、离子束能量、束流密度、作用时间对辐照后蓝宝石表面结构的影响规律,研究了离子束参数与蓝宝石表面粗糙度、刻蚀速率的关系。实验结果表明:当离子束入射角度为60°、能量为600 eV、束流密度为239 μA·cm -2、作用时间为90 min时,样品表面的粗糙度最大,且形成的表面形貌具有明显的点状结构;在同样的离子束入射角度、能量和束流密度下,作用时间为30 min时,刻蚀速率最大,表面形貌点状结构密集。利用最优参数组合可得到良好的点状纳米结构、最优的粗糙度和刻蚀速率。
材料 低能离子束刻蚀 自组织纳米结构 粗糙度 刻蚀速率 表面形貌 
激光与光电子学进展
2019, 56(12): 121601

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