作者单位
摘要
华中科技大学 激光技术国家重点实验室,武汉 430074
为了给脉冲激光沉积(PLD)法沉积大面积均匀薄膜的应用提供相关的理论依据,以纯铝块作为靶材,采用PLD法在同轴和旁轴两种模式下对比研究了Al薄膜的厚度均匀性。同时,在旁轴的沉积模式下分别研究了基片温度、激光功率和重复频率对Al薄膜沉积速率的影响规律。实验结果表明,采用PLD方法在旁轴的沉积模式下获得的Al薄膜的厚度更加均匀。随着基片温度的增加,薄膜的沉积速率反而降低。升高激光功率,薄膜的沉积速率也随之提高。而在激光重复频率的变化过程中,Al薄膜的沉积速率有一最大值。
薄膜 脉冲激光沉积 沉积模式 厚度均匀性 沉积速率 thin films pulsed laser deposition deposition mode thickness uniformity deposition rate 
激光技术
2006, 30(3): 0265
作者单位
摘要
华中科技大学激光技术国家重点实验室, 湖北 武汉 430074
提出脉冲激光烧蚀细丝制备纳米粉末的新方法,并根据该方法设计和制作了相应的纳米粉末制备装置。采用该方法和相应的实验装置,以??0.5 mm的纯铁细丝为原料,在一定压力的N2和O2的混合反应气氛中获得了磁性γ-Fe2O3纳米粉末。γ-Fe2O3纳米粉末在形貌上呈链状,单个颗粒基本呈球形;纳米粉末的粒度均匀,平均粒径约为19 nm,而且基本不存在硬团聚。为了对比研究,在同样的实验条件下进行了激光烧蚀铁块状靶材制备γ-Fe2O3纳米粉末的研究。与激光烧蚀块状靶材不同,激光烧蚀细丝法在烧蚀机理上实现了对靶材的整体爆炸式蒸发,从而大幅度提高了纳米粉末的产量。在400 W的功率下,激光烧蚀铁丝制备的γ-Fe2O3纳米粉末的产率为1.8 g/h,是同等条件下烧蚀块状Fe靶材制备纳米粉末产率的6倍。
激光技术 激光烧蚀 铁丝 γ-Fe2O3纳米粉 爆炸式蒸发 
中国激光
2004, 31(9): 1132

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