1 吉林大学 a.电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
2 吉林大学 b.化学学院， 长春 130012
利用溶胶-凝胶法制备了硅烷偶联剂KH560修饰的有机/无机杂化电光材料，分析了KH560的水解缩合的反应机理.对制备好的电光薄膜进行了表面形貌、折射率和电光特性的表征，并用反射法测量得出了该材料的电光系数为3.5pm/V.针对这种材料柔韧的特性，设计了上加载条形电光波导，并利用Opti-BPM软件模拟了二维和三维光场.摸索了其制备的加工工艺，制备了该结构的光波导，最后得到了这种波导的近场输出.
溶胶—凝胶法 有机/无机杂化材料 电光效应 加载条形光波导 Sol-Gel method Organic/inorganic hybrid material Electro-optic effect Strip-loaded waveguide
