作者单位
摘要
1 河海大学理学院, 江苏 南京 210098
2 南京理工大学理学院, 江苏 南京 210094
3 北京航空工程技术研究中心, 北京 100076
利用流体模型模拟和发射光谱实验诊断相结合的方法, 研究了中等气压、 中等功率下射频容性耦合等离子体的放电特性。 理论上, 采用基于流体模型的COMSOL软件仿真, 建立一维等离子体放电模型, 以Ar气为工作气体, 研究了不同气压以及不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律。 实验上, 依据仿真模型设计制作了相同尺寸的密闭玻璃腔体和平板电极, 采用13.56 MHz射频放电技术电离腔体内的工作气体Ar气, 测量了不同气压、 不同射频输入功率时放电等离子体的发射光谱。 通过分析和选择适当的Ar Ⅰ和Ar Ⅱ的特征谱线, 分别利用玻尔兹曼斜率法以及沙哈-玻尔兹曼方程计算了等离子体的电子温度与电子密度, 并结合模拟仿真结果对光谱诊断结果进行了修正。 结果表明: 当气体压强为300~400 Pa、 输入功率为600~800 W时, 等离子体近似服从玻尔兹曼分布, 此时利用光谱法得到的等离子体参数与仿真结果相符合。 仿真模拟与光谱实验诊断相结合的方法可初步诊断出中等气压下等离子体的放电参数, 增加了玻尔兹曼斜率法和沙哈-玻尔兹曼方程在等离子体放电中的使用范围, 扩大了光谱法在低电子密度容性耦合等离子体参数诊断的应用场合, 为中等气压容性耦合等离子体在工业与**上的应用研究提供了重要物理状态的分析手段。
容性耦合等离子体 COMSOL仿真模拟 光谱法诊断 Capacitive coupled plasma COMSOL simulation Spectrum diagnosis 
光谱学与光谱分析
2018, 38(4): 1007
作者单位
摘要
1 南京理工大学 理学院, 南京 210094
2 北京航空工程技术研究中心, 北京 100076
3 南京理工大学 微波中心, 南京 210094
利用荧光灯等离子体管覆盖金属腔体内壁, 测量了筒状等离子体覆盖的金属腔体对电磁波的回波衰减。测试结果表明:金属圆筒内壁的等离子体能够有效吸收0.80~1.75 GHz波段的入射波, 入射电磁波的回波衰减值为5~25 dB;当入射电磁波频率接近1.75 GHz时, 回波衰减最为强烈,在入射角度为10°时, 吸收峰值可达26.71 dB,因此选择合适的电磁波入射角度, 能够使等离子体对微波的吸收达到峰值。理论分析了影响等离子体对电磁波衰减的主要因素。结果表明:等离子体可有效缩减腔体结构的雷达散射截面面积, 因此在进气道等腔体结构的隐身方面具有一定的应用前景。
等离子体 微波 等离子体覆盖腔体 雷达散射截面 plasma microwave plasma covered cavity radar cross section 
强激光与粒子束
2011, 23(5): 1295
何湘 1,2,*陈建平 1,2倪晓武 1,2吴莹 1,2[ ... ]秦海潮 1,2
作者单位
摘要
1 南京理工大学 理学院, 南京 210094
2 北京航空工程技术研究中心, 北京 100076
利用荧光灯排列形成非均匀等离子体层(面积约60 cm×52 cm,消耗功率约400 W),研究了其对1~8 GHz E波(电矢量方向平行于灯轴方向的入射波)的反射和透射的影响。结果表明,该等离子体对1~4 GHz的E波具有强吸收和弱反射的特性,单程衰减最高可达8 dB。利用2维分段线性电流密度递归卷积时域有限差分计算式,模拟了E波传播及其在非均匀等离子体内推进的瞬态过程,计算了等离子体对电磁波的反射和透射衰减,并与实验结果拟合,得到等离子体电子数密度峰值约9.72×1016 m-3,电子与中性粒子碰撞频率约4 GHz。
等离子体 电磁波 隐身 时域有限差分法 衰减 plasma electromagnetic wave stealth finite-difference time-domain attenuation 
强激光与粒子束
2010, 22(9): 2115

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