原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研究了三类典型原子炉管构型下的原子通量水平,并基于最优原子炉管构型将研制的铬纳米光栅峰谷高度提升到100 nm,使光栅质量得到进一步优化。
原子与分子物理学 纳米计量 传递标准 原子光刻 纳米光栅 原子通量 光学学报
2018, 38(12): 1202001
提出了一种光通过超声驻波及超声行波后能产生高衬比度相干条纹的新术,利用超声驻波调制光束与超声行波作用后的相关衬比度来选定相干波束.从理论上分析了其相关叠加的结果,并在实验中得到了证实.
超声行波 超声驻波 衬比度
