中国电子科技集团公司 第四十六研究所, 天津 300220
分析了金刚石线锯多线切割150 mm SiC晶片的表面形貌及质量, 通过测试SiC片Si面和C面的表面粗糙度(Ra), 发现C面Ra值约为Si面的2倍。在切割过程中晶片向Si面弯曲, 使锯丝侧向磨粒对Si面磨削修整作用更强, 从而使晶片Si面更加光滑。此外, 通过显微截面法测试了SiC晶片两面的损伤层深度。结果表明, Si面损伤层深度约为789 μm, 明显低于C面的138 μm, 显微镜下观察到截面边缘更加平整。该方法进一步证明了多线切割时晶片向Si面弯曲, 使锯丝侧向磨粒对Si面的磨削效果更强, 从而造成SiC晶片两面表面形貌和质量存在差异。
SiC晶片 表面损伤层 表面粗糙度 弯曲度 SiC wafer subsurface damage layer surface roughness Bow
1 西安理工大学 自动化与信息工程学院, 西安 710048
2 陕西省智能协同网络军民共建重点实验室, 西安 710000
为了解决农业无人机在障碍物干扰环境中进行路径规划任务时存在的寻优精度低、避障能力弱等问题, 利用无线紫外光通信引导设备全天候非直视通信、隐秘通信及适用于各种特殊场合等特点, 建立了无线紫外光飞行路径引导系统, 提出基于指数递减策略的改进蝙蝠算法(EDS-IBA), 引入基于指数递减策略的动态惯性权重和相邻路径点的人工势场, 在保证无人机路径平滑的同时, 避免陷入局部最优, 通过障碍物干扰代价和紫外光通信代价保证飞行环境的多样性及真实性。结果表明, EDS-IBA相较于基于差分进化算法的改进蝙蝠算法和传统蝙蝠算法, 2维环境下, 规划的平均路径长度分别缩短了10.7%和16.3%;3维环境下, 规划的平均路径分别缩短了13.7%和36.2%;算法达到收敛状态时, EDS-IBA的适应度值也较小, 在路径规划能力和算法性能方面有较好的可行性和有效性。该研究对无人机路径规划的实际应用和开发具有一定的现实意义。
光通信 紫外光引导 蝙蝠算法 动态惯性权重 人工势场 optical communication ultraviolet guidance bat algorithm dynamic inertia weight artificial potential field
1 无锡学院江苏省集成电路可靠性技术及检测系统工程研究中心,江苏 无锡 214105
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
为了探究铟原子发生自适应迁移的临界厚度,首先测量得到InGaAs阱簇复合结构表面不同位置的自发辐射光谱。铟原子的自适应迁移会导致阱簇复合结构中同时产生铟含量正常的和损失的InxGa1-xAs区域,进而导致其自发辐射光谱具有特殊的双峰特征。通过对比光谱的双峰强度,计算并评估了正常In0.17Ga0.83As层的厚度起伏为4.6~6.4 nm,即铟原子发生自适应迁移的临界厚度为4.6 nm。通过对比4 nm传统InGaAs量子阱的单峰光谱特征,验证了铟原子发生自适应迁移临界厚度的准确性,该项研究对推动InGaAs阱簇复合量子限制结构的发展具有重要意义。
激光器 InGaAs/GaAs 富铟团簇 双峰光谱 临界厚度 光学学报
2023, 43(21): 2114001
1 无锡学院电子信息工程学院,江苏 无锡 214105
2 北京航空航天大学物理学院,北京 100191
3 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
研究一种基于富铟团簇(IRC)效应的新型高应变InGaAs/GaAs自适应阱簇复合(WCC)量子结构,该结构具有比较灵活的能带调控能力,可产生一种特殊的偏振双峰光谱。为探究该WCC结构的偏振双峰辐射机制及能带特征,利用IRC效应生长获得了自适应WCC结构,并测量了该新型结构的偏振光致发光(PL)光谱,在横向电场(TE)和横向磁场(TM)模式下,PL光谱皆显示出特殊的双峰结构。这主要是铟原子的自适应迁移导致有源层同时存在铟组分正常和铟组分降低的InxGa1-xAs材料所致。根据半导体激光器的跃迁矩阵元理论和PL光谱的双峰能量间距,阐明不同偏振模式下的光谱双峰与多组分InxGa1-xAs材料的对应辐射机制,同时确定该WCC结构的混合能带特征。该研究内容对IRC效应和新型WCC发光结构的发展和应用具有重要研究意义。
半导体激光器 InGaAs/GaAs 富铟团簇 偏振双峰光谱 混合能带 光学学报
2023, 43(10): 1014006
中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津300220
本文探究了往复式金刚石线锯的工艺参数对βGa2O3单晶沿(001)晶面切片时表面质量的影响,从压痕断裂力学理论角度探究了金刚石线锯切割βGa2O3单晶过程中磨粒行为和材料去除机理。实验从各向异性角度分析了切割方向对(001)面βGa2O3单晶切割片表面质量的影响,并采用SEM和SJ210粗糙度测试仪探究了工艺参数对金刚石线锯切割后的晶片表面质量的影响。实验结果表明,增大锯丝速度或减小材料进给速度都能降低亚表面损伤层深度及表面粗糙度,有效改善晶片表面质量。
βGa2O3晶片 金刚石线锯 切割方向 亚表面损伤层 表面粗糙度 βgallium oxide wafer diamond wire saw cutting direction subsurface damage layer surface roughness
1 西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西 西安 710048
2 陕西省智能协同网络军民共建重点实验室,陕西 西安 710000
无线紫外光在大气中进行非直视散射通信时,大气微粒的散射和吸收作用以及低空大气湍流的变化会对紫外光通信(UVC)性能产生强烈的影响。建立了低空大气湍流无线紫外光非直视(NLOS)单次散射通信链路模型,通过计算机仿真分析了收发端范围、折射率结构参数、指向角等不同因素下NLOS散射通信的光强分布特性、信噪比、信号衰减等系统通信性能,以及高度变化对白天和夜间UVC的影响。仿真结果表明:不同高度湍流变化下昼夜间无线UVC性能存在一定差距,水平通信、垂直通信和斜程通信时:在夜间的大气折射率结构常数相对于弱湍流情况增大一个数量级,信号能量平均衰减为原来的1/2.09、1/2.16、1/2.03;在白天的大气折射率结构常数相对于弱湍流情况增大一个数量级,信号能量平均衰减为原来的1/2.07、1/2.15、1/1.96。夜间通信受湍流的影响更大,白天的通信性能比夜间好,湍流对垂直通信的影响较大。
光通信 紫外光通信 湍流信道 大气折射率结构常数 光强分布特性 信号衰减 光学学报
2022, 42(24): 2406001
1 武汉工程大学 计算机科学与工程学院,湖北武汉430205
2 智能机器人湖北省重点实验室,湖北武汉43005
3 华中科技大学 化学与化工学院,湖北武汉400074
4 武汉工程大学 邮电与信息工程学院,湖北武汉30205
为解决传统光场相机空间带宽积偏低的问题,提出了一种基于液晶扩散片的光场成像系统。使用光控取向技术进行取向,克服了传统摩擦取向所产生的杂质、静电与物理性损伤等缺陷,制备出适用于光场成像的电控可调液晶扩散片;通过改变液晶扩散片的外加电压,获得了不同电压下的光场信息;通过适配液晶扩散片的成像算法,将高透过率时光场的细节信息与低透过率时光场的散射光强度融合,获得了均衡光强与细节的高分辨率光场信息。与传统光场成像系统相比,所提方法获得的高分辨率光场图像的峰值信噪比整体提升约4.98%,而且成本低、制备简便,实现便捷,有利于制作出高性价比的光场相机,实现高分辨率光场成像。
光场成像 液晶扩散片 光控取向 空间带宽积 light field imaging liquid crystal diffuser light-controlled orientation spatial bandwidth product
1 武汉工程大学计算机科学与工程学院, 湖北 武汉 430205
2 智能机器人湖北省重点实验室, 湖北 武汉 430205
3 华中科技大学化学与化工学院, 湖北 武汉 430074
基于聚合物分散液晶薄膜提出了一种新型高分辨率光场显示方法。首先,搭建虚拟相机阵列,用来对目标物体的光场信息进行采集,从而获得其元素图像阵列;然后,根据聚合物分散液晶的光电特性,通过调节聚合物分散液晶薄膜的外加电压以及利用人眼的暂留/余晖效应,可获得高分辨率的光场显示结果。实验结果表明,相较于传统方法,所提出的方法较为简便,并拥有较高的显示质量,所呈现图像的峰值信噪比提高了约11%。另外,所提出方法搭建的系统难度小,实用性强。
成像系统 光场显示 元素图像阵列 聚合物分散液晶 计算机视觉
1 武汉工程大学计算机科学与工程学院,湖北 武汉 430205
2 智能机器人湖北省重点实验室,湖北 武汉 430205
3 华中科技大学化学与化工学院,湖北 武汉 430074
针对光场显示中分辨率偏低的问题,提出了一种基于频域平移的仿真方法。通过搭建虚拟相机阵列对三维物体的光场信息进行采集,获得元素图像集合;在频域中通过平移,生成元素图像集合的位移信息;采用时分复用的方法,将原始的元素图像集合与频率平移后的信息进行融合,得到高分辨率光场显示结果。相较于传统方法,所提出的方法实现过程相对简单,计算速度快,并具有较高的显示质量,在光场显示仿真领域,具有较大的应用潜力。
光场显示 仿真 元素图像集合 频域平移 时分复用 激光与光电子学进展
2022, 59(1): 0107001
1 武汉工程大学计算机科学与工程学院, 湖北 武汉 430205
2 智能机器人湖北省重点实验室, 湖北 武汉 430205
3 华中科技大学化学与化工学院, 湖北 武汉 430074
针对光场显微成像中空间分辨率较低的问题,提出了一种基于图正则化的方法,并进行了光场超分辨率重建,得到了光场的高分辨率视图。首先,通过非周期性提取的方法,获得了光场的视角图;然后,将光场的超分辨率问题,转化为一个全局优化问题,利用光场视图之间的互补信息,进行正则化平滑处理;最后,用最速下降迭代算法,对目标函数最小化求解,重构出高分辨率视图。实验中,采用显微物镜、微透镜阵列以及CCD相机,搭建光场显微镜采集数据,使用图正则化的方法进行光场高分辨率重建;相较于传统方法,所提方法视差估计计算量较小,成像质量较高,并有效保留了原始光场结构。
显微 光场显微镜 微透镜阵列 非周期性算法 图正则化 超分辨率