1 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
研究了光斑重叠率对飞秒激光硅材料表面着色的影响。实验结果表明：飞秒激光在硅材料表面着色是由于在其表面诱导出了周期纳米条纹结构；在飞秒激光功率一定的情况下，较高和较低的光斑重叠率都不能实现着色；在选定激光功率范围内，光斑重叠率越大，呈现的颜色越丰富，着色效率越高。另外反射率的测量结果表明着色后样品在可见光范围内反射率下降了50%左右。得到了飞秒激光硅材料表面着色的参数窗口，为飞秒激光半导体着色的推广提供了技术参考。
材料 激光着色 飞秒激光 光斑重叠率 硅材料
1 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
利用飞秒激光聚焦辐照金属表面可以诱导出亚波长周期结构，从而实现金属表面着色。改变照明光入射角和样品水平旋转角，金属表面结构色的色调和亮度均发生变化，这说明结构成色具有方向性。为探究飞秒激光在金属表面着色的均匀性，基于国际光学照明委员会关于颜色差的规定对成色的偏差作了分析，结果表明，样品加工面积越大，颜色的均匀性越差。在设定的实验参数下，当样品加工面积达到64 mm2时，其边缘与中心颜色的差异可以被人眼明显察觉。通过制作两个彩色图标来展示结构色的方向性和均匀性对飞秒激光彩色标记实际应用的影响。
激光光学 直写技术 结构色 飞秒激光
