赵树森 1,2何宏智 1,3韩世飞 1,2,4姜璐 1,2,4[ ... ]张谷令 3,*
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室,北京 100083
2 北京市全固态激光先进制造工程技术研究中心,北京 100083
3 中央民族大学 理学院,北京 100081
4 中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049
透明硬脆材料由于其优异的力学性能、热稳定性、耐腐蚀性以及光电性能,广泛应用于半导体与电子领域。传统透明硬脆材料切片方法效率低、材料损耗大,制约了硬脆材料的推广应用。激光剥离技术是近年来新兴的一种透明硬脆材料切片新方法,较传统金刚线切割方法大幅提升硬脆材料的切片效率和材料利用率,目前已发展成为硬脆材料激光加工领域学术研究与产业应用的焦点。文中深入分析透明硬脆材料激光剥离物理过程,归纳激光剥离过程关键科学问题:透明硬脆材料对激光的非线性吸收、激光作用下材料内部微观结构演化与缺陷扩展规律,以及激光光场调控对材料改质影响机制等。基于这些科学问题,综述了近年来激光剥离不同类型透明硬脆材料的研究进展,目前用于激光剥离的材料已涵盖了SiC、Si、GaN、金刚石等半导体材料,蓝宝石、多晶Al2O3、氧化锆等陶瓷材料,激光剥离技术已发展出超快激光双脉冲诱导剥离、超快激光-化学辅助剥离、多激光复合剥离等。激光剥离物理过程是一个典型的激光-材料-热学-力学多学科交叉问题,尽管在实验结果方面获得了显著突破和迅猛发展,但目前对于工艺机理仍缺乏深入的理论与数值建模研究。未来透明硬脆材料激光剥离技术将会朝着百微米以下超薄厚度剥离、改质层低损伤、工艺自适应等方向发展,将为半导体与电子等领域快速发展提供更大的技术支撑。
超快激光 硬脆材料 剥离 非线性吸收 缺陷扩展 光场调控 ultrafast laser hard and brittle materials splitting nonlinear absorption defect extension optical field modulation 
红外与激光工程
2024, 53(1): 20230487
张超 1,2林学春 1,2,**赵鹏飞 1,*董智勇 1[ ... ]于海娟 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室,北京 100083
2 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 101407
大功率高光束质量半导体激光器在激光加工、激光通信、科学研究等方面有着广泛的应用,提高半导体激光器的功率和光束质量一直都是国际的研究前沿和学科热点。合束技术是提高半导体激光器输出功率最简单有效的方法。非相干合束技术提高输出功率往往以损失空间、偏振或光谱特性为代价,在对光束特性要求不高的场合应用较为成熟。相干合束技术在提高半导体激光器输出功率的同时还能提高光束质量、压窄频谱宽度,是高亮度窄线宽半导体激光技术发展的重要方向。本文简述了相干合束技术的原理及要求,从锁相技术出发,综述了半导体激光器相干合束技术近年来的发展现状,总结了主动锁相和被动锁相的优缺点,主动锁相技术采用主振荡放大结构通过相位负反馈技术实现锁相,在合束单元数量上具有优势,能获得大功率相干输出,但结构较为复杂。被动锁相技术结构简单,一般通过外腔的衍射效应或者共腔技术实现单元间的相位锁定,具备自组织锁相特点,但不易获得高功率输出。最后对半导体激光器相干合束技术的未来发展进行了展望。
相干合束 半导体激光器 锁相 高光束质量 高功率 
激光与光电子学进展
2024, 61(1): 0114007
作者单位
摘要
1 南开大学 物理科学学院,天津 300071
2 中国科学院半导体研究所,北京 100089
文中介绍了千瓦级准连续全固态激光清洗样机研发的关键技术。激光清洗工程样机配合三维龙门运动平台形成激光清洗工业平台。简介针对钢轨表面除锈和飞机复合材料蒙皮除漆的激光清洗机制模型,从样品识别、过程监测、结果检测三方面介绍激光清洗监控方法。对60钢轨激光除锈和飞机铝制蒙皮光进行除漆,笔者课题组获得了激光清洗的最佳工艺参数,清洗效率指标通过专家测试。
激光清洗 工程化 千瓦级准连续全固态激光器 钢轨除锈 飞机蒙皮除漆 laser cleaning engineering quasi-continuous all-solid-state kilowatt level laser rail rust removal aircraft skin depainting 
红外与激光工程
2023, 52(2): 20230049
曲研 1,2宁超宇 1,3,4邹淑珍 1,4于海娟 1,4[ ... ]林学春 1,4
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 全固态光源实验室,北京 100083
2 北京新材料和新能源科技发展中心,北京 100094
3 中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 101407
4 北京市全固态激光器先进制造工程技术研究中心,北京 100083
掺镱全光纤纳秒脉冲激光器发展迅猛,已经为诸多领域开辟了新的道路,特别是高平均功率、大脉冲能量的纳秒脉冲光纤激光器在激光清洗等领域得到了广泛应用。多路光纤激光合束是实现高平均功率、大脉冲能量激光输出的主要手段,其结构复杂程度取决于单模块激光器的输出特性,提升单模块纳秒脉冲全光纤激光器输出特性对于激光清洗等领域具有重要意义。文中总结了单模块掺镱全光纤纳秒脉冲激光器的研究进展,分析了当前限制其功率和能量进一步提升的主要因素。首先,从主动调Q、被动调Q以及增益开关技术三个层面回顾了纳秒脉冲掺镱全光纤振荡器的研究进展;其次,从大脉冲能量、高平均功率、两者协同发展三个指标层面总结了纳秒脉冲掺镱全光纤放大器的研究现状;最后,从限制高指标掺镱全光纤激光器输出特性的因素出发,展望了其在未来功率和能量提升上的发展趋势。
高平均功率 大脉冲能量 纳秒脉冲 掺镱全光纤激光器 激光清洗 high average power large pulse energy nanosecond-pulse Ytterbium-doped all-fiber lasers laser cleaning 
红外与激光工程
2022, 51(6): 20220055
温宁 1,3宗楠 1,2张申金 1,2,*高宏伟 1,2,**[ ... ]林学春 4
作者单位
摘要
1 中国科学院理化技术研究所功能晶体与激光技术重点实验室,北京 100190
2 中国科学院理化技术研究所固体激光重点实验室,北京 100190
3 中国科学院大学,北京 100190
4 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室,北京 100083
中国激光
2022, 49(11): 1116002
梁晗 1,2,3赵树森 1,3,*姜璐 1,2,3邹晨 1[ ... ]林学春 1,2,3
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室,北京 100083
2 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049
3 北京市全固态激光先进制造工程技术研究中心,北京 100083
针对航空复合材料挖补修复工艺对损伤区高效高质量去除的需求,研究了碳纤维复合材料纳秒脉冲激光剥蚀机理、工艺优化和缺陷控制方法,基于各向异性传热原理研究了激光扫描角度对材料去除率的影响规律,探索了激光扫描速度和填充间距对非匀质材料的热-机械剥蚀的影响机制。结果表明:碳纤维复合材料显著的各向异性传热使得去除深度随激光扫描角度的增大而减小,激光扫描角度为0°时去除深度为220 μm,激光扫描角度为90°时去除深度为150 μm;由于热-机械剥蚀的混合作用,两个方向上的光斑搭接率存在临界值,在该临界值处材料去除效率出现峰值。进行了18层的阶梯形去除,精度控制在±20 μm。通过实验测试与数据分析,优化了碳纤维复合材料逐层精细剥蚀扫描策略与工艺方案,为碳纤维激光精细制造提供了参考。
激光技术 脉冲激光 碳纤维复合材料 挖补修复 热-机械剥蚀 逐层去除 
中国激光
2022, 49(10): 1002405
作者单位
摘要
1 北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院,北京 100124
2 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室,北京 100083
随着蓝光半导体激光器的发展和应用范围的拓宽,利用合束技术来获得高亮度的蓝光光源已经成为研究的热点。为了获取高亮度的蓝光输出,本文应用光学设计软件进行模拟仿真,将48只波长为450 nm、输出功率为3.5 W的单管半导体激光器通过快慢轴准直和空间合束,聚焦耦合进105 μm/0.22NA的光纤中,可获得功率为144.7 W、亮度为11 MW/(cm2?str)的蓝光输出,耦合效率为93.78%,整体系统的光-光转换效率为86.13%。
蓝光 高亮度 光纤耦合 合束技术 blue light high brightness fiber coupling beam combining technology 
光电工程
2021, 48(5): 200372
作者单位
摘要
1 湖南省飞机维修工程技术研究中心,湖南 长沙 410124
2 空军航空维修技术学院,湖南 长沙 410124
3 中国科学院半导体研究所,北京 100083
为将激光分层清洗应用于飞机结构维修和漆层修复中,分析了激光热烧蚀和热膨胀对残余漆层的影响,设计并开展了飞机铝合金蒙皮的激光分层清洗试验研究,揭示了激光清洗后残余漆层附着力的变化规律。试验表明:激光分层清洗获得的残余漆层的漆面平整易清洁,烧蚀“匙孔”可增大接触面,有利于提高新漆再涂覆时漆层的附着力;残余漆层的厚度在24.8 μm以上时,激光的热烧蚀不会对残余漆层的附着力产生影响,而当残余漆层厚度较小时,漆层的附着力将会在残余底漆的热膨胀作用下降低。
激光技术 激光清洗 飞机蒙皮除漆 分层剥落 残余漆层附着力 
激光与光电子学进展
2021, 58(9): 0914006
作者单位
摘要
中国激光
2021, 48(5): 0501000
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室, 北京 100083
2 中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100049
3 北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院, 北京 100124
针对矩形阵列光束与光纤耦合的角度填充系数低,以及未能充分利用光纤数值孔径的缺点,提出密堆积阵列光束的光纤耦合方式以最大化角度填充系数,从而提升光纤耦合的输出亮度。基于该排布方式设计无像差平行平板缩束装置,相比于望远镜缩束系统,该装置可保持光束发散角不变,消除阵列光束之间的暗区,改善组合光束的光束质量。仿真结果表明,该装置可将14支功率为1.5 W绿光单管耦合进数值孔径为0.15和芯径为105 μm的光纤中,获得93.75%的光纤耦合效率,输出功率为19.13 W,对应亮度为3.125 MW·cm -2·Sr -1,系统的总光-光传输效率达91.10%。
激光光学 半导体激光器 绿光 光束整形 高亮度 
中国激光
2021, 48(5): 0501016

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