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仪器，测量与计量
测量微观不平度的90°相移激光干涉仪
梁显鉴 
作者单位
摘要
华南师范大学实验中心, 广州 510631
叙述了测量微观不平度的90°相移激光干涉仪的原理和构成。对这种新型干涉仪的性能及有关问题作了讨论。测量结果的计算和样品扫描的控制,由个人计算机完成。垂直分辨率达1um,横向分辨率达10μm。实验结果证明了系统的稳定性。
90°相移 激光 干涉仪 λ/4片 分辨率 稳定性 
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光学学报
1996, 16(6): 812
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