硅基光子集成谐振腔作为光学敏感单元对芯片级光学陀螺的性能起着至关重要的作用。以互易敏感增强型双微环架构的光子集成陀螺谐振腔为研究对象，通过时域有限差分法仿真分析了双微环谐振腔的关键结构参数，并通过搭建仿真链路研究了微环谐振腔的品质因子、精细度与耦合系数、传输损耗的内在关系。在此基础上，选取典型结构参数设计版图，基于无源硅基光子集成工艺的多项目晶圆流片制备了双微环谐振腔器件。测试结果表明，当微环半径为500 μm、波导与微环的耦合系数为0.3时，在工作波长1550 nm附近微环的自由光谱范围为0.182 nm，3 dB带宽为0.045 nm，精细度为4.04，品质因子约为3.4×104。本研究结果为双微环谐振腔的进一步优化设计提供了依据。

集成光子技术引领了小型化光学器件的发展，可以在单块芯片上实现非常复杂的功能。许多集成光学器件，如分光器、谐振器、激光器、放大器、滤波器和调制器等均已实现单片集成或者混合集成，各国在设计、制造复杂的光子集成器件投入了大量的研究工作。通过集成光学技术制造的光学陀螺仪可以有效减小陀螺仪的重量和尺寸，降低成本和功耗，并增加系统的可靠性，性能指标也逐渐提升，具有良好的发展潜力。本文介绍了国内外集成光学陀螺仪敏感单元的研究状况，简要分析了当前通过采用不同材料平台和新型谐振结构设计提升集成光学陀螺仪性能的研究特点，期望有助于该领域的研究人员对集成光学陀螺技术的最近进展有比较全面的了解。