1 广东纺织职业技术学院,广东 佛山 528041
2 天津工业大学 激光技术研究所,天津 300160
在飞秒激光与金属材料相互作用研究的基础上,在不同的激光器运行参数条件下利用飞秒激光器在金属铝箔上制备阵列微孔,研究了对阵列微孔的孔径与激光器工艺参数之间的关系。利用Origin7.0 及SPSS13.0 对实验数据进行分析,指明了飞秒激光器脉冲数、脉宽、单脉冲能量对孔径大小的影响。
飞秒激光 脉冲数 脉宽 单脉冲能量 激光与光电子学进展
2010, 47(5): 051403
1 天津工业大学激光技术研究所, 天津 300160
2 南开大学现代光学研究所, 天津 300071
选用不锈钢、铜和铝三种金属薄膜作为实验材料,厚度10～50 μm。对不锈钢、铜和铝三种金属薄膜进行飞秒激光加工,研究了所形成的微纳米孔直径与飞秒激光加工参数的关系。结果表明,飞秒激光加工的微孔直径随单脉冲能量和脉冲数的平方根的增大而增大。不锈钢薄膜适于飞秒激光制作金属微孔膜,在25 μm厚的不锈钢薄膜上制备了大面积阵列微孔,孔直径为2.5～10 μm,孔间距为10～50 μm。与传统烧结金属微孔过滤膜比较,飞秒激光制备阵列微孔金属膜具有膜孔尺寸均匀一致、直通孔形、膜孔尺寸和间距可控等特点,可获得较高的孔隙率,有利于提高透过水通量。
激光技术 微纳加工 飞秒 金属膜 阵列孔
介绍了利用超短脉冲激光制备金属膜的前期探索工作；结合激光技术和膜技术基础上，展望了未来激光制备多孔金属膜的发展前景。
飞秒激光 超短脉冲激光 无机膜 金属膜
