1 常州工学院 光电工程学院，江苏 常州 213002
2 常州现代光电技术研究院，江苏 常州 213002
3 常州市光电子材料与器件重点实验室，江苏 常州 213002
4 上海大学 机电工程与自动化学院，上海 200072
飞秒激光微加工中焦点光斑横向光场的分布直接影响到激光微加工的精度、分辨率和表面粗糙度等。利用激光束空间整形技术对激光束聚焦光斑进行调制，基于横向超衍射理论和优化算法进行了研究和分析，完成了一种0-π结构四环横向相位板的设计。该相位板归一化半径为r1=0.16、r2=0.27、r3=0.49，获得的峰值能量S、焦斑尺寸GT、旁瓣能量MT分别为0.38、0.74、0.20。并且基于该相位板在激光微加工系统中进行了一种光致变色材料的相位板加入前后的对比加工实验，实验结果表明，在飞秒激光微加工系统中使用这种相位板可以有效地减小加工点的尺寸大小。
横向超分辨 飞秒激光 微加工 transverse superresolution femtosecond laser microfabrication
常州工学院 光电工程学院，江苏 常州 213002
飞秒激光三维光存储是实现高密度光存储的重要方法。为了提高飞秒激光三维光存储技术的实用化，基于DVD聚焦、循道伺服技术搭建了一套飞秒激光三维光盘存储系统。针对DVD光学头建立音圈电机电气模型，并通过典型二阶系统参数计算可获得详细的光头传递函数。针对DVD光学头传递函数，采用模糊PID算法，构建模糊PID控制系统的仿真模型，通过模糊控制规则在线对PID参数进行整定，并进行计算机Matlab仿真。仿真结果表明：模糊PID控制算法可使系统的稳定性、响应速度、超调量和稳态误差等达到系统性能指标的要求。
三维光存储 DVD光学头 模糊控制 PID控制器 3D optical storage DVD pickup head fuzzy control PID controller
