采用扩展边界条件法,得出亚波长正弦介质光栅正入射反射型1/4波片的结构参数.发现在一定精度范围内TE波与TM波的相位差能够在一段较大的槽深区域满足设计要求,从而降低了实际控制刻蚀深度的难度.讨论了线偏振光转化为圆偏振光的方位角问题.
亚波长正弦介质光栅 反射型1/4波片 方位角 偏振光
提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图.为了验证此方法的准确性和可行性,先进行了计算模拟,然后对SiNx薄膜进行了测量.模拟结果与理论值非常接近,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好.此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点.
透射光谱 模拟退火 薄膜 光学常数
1 邵阳学院物理系,邵阳,422000
2 四川大学物理系,成都,610064
利用严格模式理论对二维电磁各向异性浮雕型介质光栅的衍射特性进行了理论分析,并对其退化情形进行讨论。文中采用反射透射系数矩阵算法和校正傅里叶展开规则以提高数值计算的稳定性、收敛性和计算效率。通过对光栅进行数值计算表明,该方法在可靠性、稳定性和收敛性方面是令人满意的。
应用光学 二维各向异性介质浮雕型光栅 模式理论 反射透射系数矩阵算法 校正傅里叶展开
将"逆规则"傅里叶级数展开法和反射透射系数阵递推算法进行推广,对任意面形及任意入射角的电磁各向异性介质光栅衍射特性进行研究.该方法物理概念清晰,数值计算稳定收敛,计算速度快,并与其它方法的计算结果进行了比较.
逆规则 反射透射系数阵算法 电磁各向异性介质光栅
将一种广泛用于求解复杂系统优化问题的技术--模拟退火法--用来求解椭偏反演方程.首先假设一个薄膜模型,计算出其相应的椭偏参数(Ψ,Δ)的值,在这个计算值的基础上加入不同标准偏差的高斯噪声;然后将加入噪声后的值(Ψm,Δm)作为模拟的测量数据,采用模拟退火算法进行求解,验证得知这种方法求得的薄膜参数很接近于假设的薄膜模型参数的真值,与其他文献的报道结果一致,而且在扩大搜寻范围时,仍然可以得到准确解,从而证明了该方法的可行性以及有效性.
椭圆偏振术 吸收薄膜 模拟退火
采用“逆规则”傅里叶展开法来提高正交浮雕双周期光栅问题的收敛性,把用在单周期光栅中的反射透射系数阵算法推广到正交双周期光栅中,并充分利用光栅的对称性和对角周期性,在保证计算准确度和稳定性的条件下,把计算速度提高了几十倍,从而把对这类问题的计算从大型计算机中解脱出来,而可用微机加以处理。
正交光栅 “逆规则” 反射透射系数阵算法
用扩展边界条件法研究了亚波长表面正弦形介质光栅中的电磁场分布及其各级衍射效率。计算结果表明,在适当的参数条件下,表面正弦光栅具有全反射的特性,在一个较宽的带宽范围内实现了99.9%的高反射。
扩展边界条件法 正弦光栅 全反射
用矢量衍射理论讨论了位相光栅衍射级次的有限性及其与入射角的关系,得出的结论与用光程方法得出的结果一致,作出了在不同入射角条件下各衍射级次的分布图,给出了求解各级衍射波方向的公式。明确指出,当在空气层中只存在零级反射波和零级透射波时,在介质基底中还可能存在高级次的衍射波。
矢量衍射 位相光栅 衍射级次
1 四川大学物理系,成都 610064
2 中国科学院成都分院光电研究所,成都 610209
归纳了目前二元位相型菲涅耳微透镜列阵衍射效率测试中所用各种衍射效率的不同定义，提出规范定义的建议。并设计了测量衍射效率的系统，方法简单易行，适于测试具有微小单元尺寸的菲涅耳微透镜列阵的衍射效率。
菲涅耳微透镜列阵 衍射效率 CCD探测器
用矢量衍射理论研究了在有限基底上的亚波长位相光栅的反射特性随基底厚度变化的周期性、高透射性、高反射性和偏振分光特性及其可能的应用前景。
矢量衍射 亚波长位相光栅 全透射 全反射 偏振分光器
