在组网“一对多”激光通信系统中，为了减小安装面平面度误差对反射镜面形的影响，保证组网“一对多”激光通信用伺服摆镜安装后的面形精度，对一体化SiC/Al摆镜支撑参数开展了理论分析，分析了各支撑参数对摆镜面形精度的影响规律。然后采用有限元分析优化设计了支撑参数，确定了支撑点位置和安装面平面度精度的要求。对采用优化设计参数后的摆镜面形精度测试表明，在加工面形为PV值优于53 nm(λ/12)，RMS值优于10 nm(λ/60)的前提下，并在(20±5) ℃温度载荷作用下，摆镜安装后的面形精度PV值优于210 nm(λ/3)，RMS值优于60 nm(λ/10)。同时，摆镜与安装基座由相同材料制作，这有效减小温度变化负载对面形精度的影响，完全满足组网“一对多”激光通信伺服摆镜面形的精度指标要求。