1 北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造实验室, 北京 100081
2 清华大学摩擦学国家重点实验室, 北京 100084
3 清华大学先进成形制造教育部重点实验室, 北京 100084
飞秒激光具有脉宽超短、瞬时功率密度超高、非线性加工的特点,对低维纳米材料的制备和加工有着独特的优势,且具有广泛的材料适应性,能够方便快捷地针对需要精确靶向定位和图案化加工的纳米材料做出加工策略。本文综述了飞秒激光对低维纳米材料的制备加工和改性的研究现状,介绍了时空整形飞秒脉冲激光方法下制备的功能性量子点、纳米线、二维薄膜材料,和这些材料在化学催化、生物化学检测、生物相容性及电子器件等领域的应用,分析讨论了激光液相烧蚀制备纳米材料和集成化器件加工当前所面临的挑战和今后的研究重点。
激光技术 飞秒激光 纳米材料 低维 液相烧蚀 微纳制造
