1 北京理工大学 机械与车辆学院, 北京 100081
2 中国科学院 物理研究所, 北京 100190
3 北京仿真中心 航天系统仿真国家重点实验室, 北京 100854
为了降低超稳光学腔的振动敏感度, 在综合考虑振动所导致的腔镜位移及转动后, 定义了一个新的表征腔体振动敏感度的参量。采用有限元数值分析方法, 用所定义的单一参量优化了一个典型的立式超稳光学腔。优化过程考虑了腔体端面直径、支撑孔位置和深度等关键几何参量。结果表明, 优化后的腔体结构和支撑方式可以明显降低超稳腔对振动的敏感度, 腔体稳定性比优化前提高1.5倍。该优化方法操作性强, 能够有效提升超稳腔仿真和设计的效率。
激光光学 超稳光学腔 有限元分析 超精密测量 laser optics ultra-stable optical cavity finite element analysis ultra-precision measurement
