1 无损检测与光电传感技术及应用国家地方联合工程实验室, 无损检测技术教育部重点实验室, 江西 南昌 330063
2 江西省光电检测技术工程实验室, 南昌航空大学测试与光电工程学院, 江西 南昌 330063
通过严格耦合波分析方法考察了宽带偏振无关多齿谐振光栅反射镜的工艺容差性。理论分析显示,在1.62~1.76 μm波段范围内,当微纳谐振光栅的周期和厚度、调制形状、中间层厚度及缓冲层厚度等关键结构参数变化20 nm时,其对器件反射谱的影响几乎可以忽略不计。该结果表明此结构在现有工艺误差范围内表现出比较好的工艺容差性,从而有利于该器件的加工制备。
集成光学 偏振无关反射镜 亚波长多齿光栅 结构参数分析 激光与光电子学进展
2018, 55(4): 041301
1 无损检测与光电传感技术及应用国家地方联合工程实验室, 无损检测技术教育部重点实验室, 江西 南昌 330063
2 江西省光电检测技术工程实验室, 南昌航空大学测试与光电工程学院, 江西 南昌 330063
3 南昌航空大学信息工程学院, 江西 南昌 330063
主要探讨了一种基于多层多齿谐振光栅结构的高性能偏振无关反射镜。得益于TE和TM偏振光泄漏模谐振的共存及相互作用,该器件在1.65~1.72 μm较宽的频谱范围内具有反射率大于97%、角度带宽约为24.6°、插入损耗小于0.25 dB、偏振相关损耗小于0.18 dB的优越性能。通过严格耦合波分析方法验证了此器件在现有工艺误差范围内具有较好的工艺容差性。
集成光学 偏振无关反射镜 亚波长结构 多齿光栅
Author Affiliations
Abstract
1 College of Information Science and Technology, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China
2 College of Electronics and Information Engineering, Nanchang Hangkong University, Nanchang 330063, China
3 Key Laboratory of Nondestructive Test (Ministry of Education), Nanchang Hangkong University, Nanchang 330063, China
4 Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China
We discuss the optimal design of line-tapered multimode interference (MMI) devices using a genetic algorithm (GA). A 1×4 MMI device is designed as a numerical example. Compared with the conventional design based on self-imaging theory, the present method demonstrates superior performance with low insertion loss and small non-uniformity.
平面波导器件 多模干涉耦合器 遗传算法 230.1360 Beam splitters 230.7390 Waveguides, planar 310.2790 Guided waves Chinese Optics Letters
2009, 7(11): 1045
