燕山大学电气工程学院, 河北 秦皇岛 066004
构建了一种金属-绝缘体-金属(MIM)表面等离子体布拉格波导结构，绝缘层为一维布拉格光栅结构。在布拉格光栅结构中引入缺陷，形成布拉格纳米微腔。这种纳米微腔结构可以将光子能量很好地局域在微腔中，且在金属与绝缘层界面上光子能量最强。分析了MIM 波导的色散特性，获得了谐振波长为1550 nm 时微腔的结构参数。同时利用时域有限差分(FDTD)方法讨论了绝缘层布拉格光栅周期数、绝缘层厚度、微腔长度对微腔品质因子Q 和模式体积V 的影响。通过合理的选择这些参数可以提高微腔性能，使其具有极小的模式体积V 和高的Q/V 值，可实现光子局域化。
光学器件 表面等离子体 MIM 波导 布拉格光栅 纳米微腔
