为适应光谱仪微型化、 集成化的发展趋势, 详细分析了MEMS微镜应用于微型长波近红外光谱仪的方法和涉及的主要问题, 例如分光系统的设计、 MEMS微镜的选择、 探测器与前置放大电路的设计等。 并将50 Hz谐振频率、 峰峰驱动电压为10V的MEMS微镜、 高灵敏度的InGaAs单元探测器, 结合立特罗式分光光路, 设计和实现了900～2 055 nm波段的微型长波近红外光谱仪样机, 其中1 000～1 965 nm谱段的光谱分辨率介于9.4～16 nm之间。 采用MEMS扫描微镜技术后, 一方面简化了光谱仪中的复杂机械结构, 使尺寸可以更小; 另一方面实现了单探测器的长波近红外光谱仪, 与阵列长波近红外探测器光谱仪相比, 成本有所降低。 作为应用实例, 此样机成功对纯水以及乙醇-水溶液的长波近红外光谱进行了测量, 实现了乙醇-水溶液的浓度预测分析, 其中本样机测量的纯水长波近红外光谱与文献相符。

介绍了用于激光主动成像雷达的射频激励小型波导CO2激光器(主振激光器和本振激光器)的设计和实验结果.主要实验结果为:主振激光器调Q频率41.67 kHz,脉冲宽度(FWHM)150 ns,峰值功率360 W,本振激光器连续输出功率3.05 W,主振、本振激光器输出激光模式EH11,短期稳频度1.76×10-8,长期稳定P20支输出.