黄元申 1,2,*董成成 1,2黄运柏 1,2盛斌 1,2[ ... ]张大伟 1,2
作者单位
摘要
1 教育部光学仪器与系统工程研究中心, 上海 200093
2 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅, 它以高的衍射级次和大的衍射角来工作, 具有高分辨率、 全波闪耀等特性。 已广泛应用于高端光谱仪器之中, 极大地促进了航天航空、 天文、 医疗、 **、 环境等尖端科技的发展。 但是专业的刻划系统需要定制, 价格昂贵。 使用已成熟的超精密加工设备来加工中阶梯光栅, 可以大大降低中阶梯光栅母版的制备成本。 超精密单点金刚石车床制备中阶梯光栅时, 系统直线度不好, 存在较大的累积误差, 导致中阶梯光栅衍射波前较差, 达不到制备要求。 为了减小超精密单点金刚石车床固有的直线度误差, 对超精密单点金刚石车床进行了误差补偿。 首先, 以累积误差曲线为依据进行第一次补偿。 实验结果表明, 当补偿系数为0.75~0.85时, 此时衍射波前的PV(峰谷值)值在约400 nm, 一次直线度补偿效果到达极限。 然后, 以闪耀级的衍射波前曲线为依据进行第二次直线度补偿, 二次补偿后的衍射波前PV值为约83 nm。 补偿后的结果表明衍射波前得到大幅改善, 有利于提高所制备光栅的质量, 在光栅实际刻划中具有指导作用。
中阶梯光栅 超精密单点金刚石车床 直线度 衍射波前 Echelle grating Ultra precision single point diamond lathe Straightness Diffraction wave front 
光谱学与光谱分析
2017, 37(3): 946
孙乐 1,2黄元申 1,2盛斌 1,2董成成 1,2[ ... ]张大伟 1,3
作者单位
摘要
1 教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海 200093
2 上海现代光学系统重点实验室,上海 200093
3 上海现代光学系统重点实验室,上海 20009
为了测定感光材料的光谱灵敏度,通过Code V、SolidWorks 软件优化设计了一套感光材料光谱灵敏度测定曝光系统。分析比较了在不同入射角、不同光栅线数情况下系统光路结构的差异,确定入射角25°、光栅线数为350 L/mm 是系统的最优设计。实验结果表明,设计的曝光系统能够产生一个宽201.5 mm,高80 mm,覆盖360nm~900 nm 光波长的矩形光谱,经过一个18 等级台阶的灰度片使得光谱功率能在0.52 mW~10.65 mW 之间进行调节,光谱分辨率能够达到0.021 nm,满足曝光系统的设计要求。
光谱测量 光谱灵敏度 光栅 光谱功率 分辨率 spectral measurement spectral sensitivity grating spectral power resolution 
光电工程
2016, 43(12): 72

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