1 电子科技大学 电子科学与工程学院, 四川 成都 611731
2 电子科技大学 机械与电气工程学院, 四川 成都 611731
3 电子科技大学 自动化工程学院, 四川 成都 611731
4 西南科技大学 信息工程学院, 四川 绵阳 621900
5 中国航发四川燃气涡轮研究院, 四川 江油 621700
简要介绍了航空发动机涡轮叶片表面温度的几种主要测量方法, 总结了热电偶、晶体、示温漆、荧光、光纤、以及红外辐射、多光谱等测温方法的的测温原理、技术特点和国内外研究现状, 并在此基础上对将来涡轮叶片温度测量发展方向进行了展望.
涡轮叶片 温度测量 辐射测温 turbine blade temperature measurement radiation temperature measurement
1 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
2 西昌学院,物理系,四川,西昌,615022
3 中国科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209
RF微机电系统(MEMS)开关"断"状态时的隔离度依赖于其几何结构参数,因而需对其尺寸进行优化设计以获得高的隔离度.利用有限元软件HFSS对串联RF MEMS开关模型进行微波特性分析,系统研究了"断"状态下,MEMS开关的隔离度、回波损耗与其信号线宽度(w)、信号线间距(d)、气隙高度(g)、接触层面积(A)等结构参数的关系.结果表明,较小的w、较大的d、较高的g和较小的A可获得具有较小回波损耗和较大隔离度的MEMS开关.其中信号线间距对微波性能影响最大,是RF MEMS开关结构设计考虑的主要因素.设计了g=3μm,d=60μm,A=80(100μm 2,w=100μm一个RF MEMS开关,在5GHz时其回波损耗小于0.2dB,隔离度大于35dB.
微机电系统 微波开关 结构仿真
