浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027
设计了一套迈克耳孙白光干涉仪系统用于测量光学薄膜的反射相位,并由此反推单层薄膜的物理厚度。为补偿传统算法获取相位所存在的误差,提出一种新算法,以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线得到光学薄膜的相位。通过数值模拟的方式论证了理论上的可行性和高计算精度。采用多变量优化的手段进行处理实际测试的一组单层TiO2薄膜,所得物理厚度值与传统的光度法测试反演结果非常吻合。该测试系统和处理算法为快速精确测量光学薄膜厚度提供了一种新的解决方案。
光学薄膜 白光干涉术 反射相位 频域分析 优化理论
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
啁啾脉冲振荡(CPO)与飞秒激光显微系统都要求在一定带宽内能够提供大的色散补偿，如此大的色散补偿要求是之前应用于飞秒激光器的各种色散补偿薄膜结构难以达到的。为此提出一种将基于共轭腔与G-T腔混合结构的初始膜系设计，只要在此基础上稍加优化，就可以满足系统的色散补偿要求。针对CPO系统与飞秒激光显微系统的实际需求，提供了两个设计实例，验证了这种初始结构的有效性。相比与于单纯用计算机优化方法生成的膜系，该结构更加简单而规整，因而便于实际的加工制备。
光学薄膜 色散补偿 飞秒激光
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统, 主要包括迈克耳孙白光干涉系统和光纤光谱仪。对干涉信号进行频域分析, 结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函数, 进一步精确反演得到待测薄膜样品的物理厚度, 使用上述方法对多组不同厚度的薄膜样品进行计算, 并对结果进行了详细的精度及误差分析。将本实验装置测试所得到的数据与传统的光度法相比较, 结果表明使用该测试方法测量光学薄膜物理厚度的误差可以小于1 nm。与传统的光度法和椭偏法相比, 提供了一种测量光学薄膜厚度的较为简单、快速的解决方案, 同时保证了较高的精度。
白光干涉 测量薄膜物理厚度 等效厚度 频域分析
本文利用相干光反馈系统成功地实现了光学方法获取泊松方程的模拟解,其解函数能以图像的形式实时显示.它展示了相干光反馈系统的广泛应用前景.
相干光反馈 泊松方程
