1 中国科学技术大学 近代物理系, 中国科学院基础等离子体物理重点实验室, 合肥 230026
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 高温高密度等离子体物理国防科技重点实验室, 四川 绵阳 621900
3 中国科学院 微电子研究所 纳米加工与新器件集成技术实验室, 北京 100029
概述了谱学光子筛的设计原理, 计算了其透射率, 并对设计的软X光谱学光子筛的衍射模式在光学波段进行了模拟计算和实验表征。结果表明, 这种新型色散元件具有良好的、与设计预期一致的单级衍射特性, 3级及以上的高级衍射能被有效抑制。与传统的透射光栅和以前设计的单级衍射光栅相比, 新设计的软X光谱学光子筛更易于实现自支撑, 可望在极紫外和软X光谱测量过程中得到广泛应用。
软X光 光子筛 衍射光栅 衍射特性 soft X-ray photon sieves diffraction grating diffraction properties
1 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,等离子体物理国家重点实验室,四川,绵阳,621900
2 中国科学院,微电子研究所,纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029
概述了量子点阵衍射光栅的原理及制作方法,并设计标定实验,研究了不同角度及不同波长入射情况下量子点阵光栅的衍射特性.研究结果表明:量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有理想的单级衍射模式.光学波段量子点阵衍射光栅的成功研制为研制紫外、X光波段具有单级衍射特征的光栅提供了契机.
衍射光栅 量子点阵光栅 衍射特性 标定
