中国科学院 安徽光学精密机械研究所 准分子激光实验室， 合肥 230031
对于新研制的准分子激光系统而言，激光气体的性能具有非常重要的作用，激光系统的混合气体配比与单脉冲能量、放电稳定性和寿命等性能参量有密切关系。为了获得最佳气体配比，在自行研制的小型化XeCl准分子激光器的基础上进行了激光气体性能优化实验，分析了Xe，HCl气体比例对激光性能的影响，通过理论分析和实验结果给出了Ne和He两种不同缓冲气体下的激光性能差异，并给出了该激光系统的优化气体成分和有效提高激光效率方法。实验结果为研制商业化小型准分子激光器件提供了支持和依据。
激光技术 准分子激光 气体优化 激光性能 laser technique excimer laser gas optimization laser performance
中国科学院 安徽光学精密机械研究所,合肥 230031
为了解决准分子激光器在工作时产生的电磁干扰对激光器控制系统信号的影响,利用光纤的抗电磁干扰特性,采用光纤进行信号的传输,研制了用于信号传输的模拟和数字光纤传输模块和基于该模块的嵌入式准分子激光器控制系统。经测试,该系统模拟通道的-3dB带宽为直流到3MHz,非线性误差最大为1.2%,激光器在工作过程中,控制系统工作稳定、可靠。结果表明,该系统具有很好的抗电磁干扰能力。
激光器 电磁干扰 光纤 嵌入式系统 lasers electromagnetic interfernce optical fiber embedded system
