红外与激光工程
2022, 51(1): 20210927
长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
采用遗传算法优化设计了宽波段低偏振高反膜,实现了反射式望远镜在不同波段的偏振像差校正。利用偏振像差函数分析了金属膜和低偏振膜对卡塞格林望远镜偏振像差的影响。仿真结果表明,镀低偏振膜的望远镜产生的二项衰减像差略小于镀铝膜的情况,而相位延迟像差下降明显,在355,532,1046 nm波长处分别降低了1.13°,1.00°,0.68°。最后,根据望远镜的Mueller矩阵与大气退偏参数的关系计算了不同波段和视场条件下所选膜对退偏参数误差的影响,结果表明,校正望远镜偏振像差后退偏参数的测量精度会提高。
物理光学 偏振像差 Jones光瞳 像差校正 退偏参数
长春理工大学 光电工程学院, 吉林 长春 130022
基于S波片和双延迟器的偏振特性, 提出了一种矢量光场的生成及偏振调控方法, 该方法能够将标量高斯光束转换为偏振态分布可调谐的矢量光束。结合Stokes-Mueller矩阵算法, 建立了矢量光场偏振调控的数学模型, 并仿真计算出标量高斯光束经过S波片和双延迟器(包括双1/4波片和双1/2波片两种情况)后的偏振态空间分布。讨论了双延迟器相对旋转时光场偏振分布的演化规律及机理, 实验结果与数值仿真结果相互吻合, 表明该方法可以实现对标量相干光场的复杂偏振调控, 验证了理论分析的正确性和该方法的可行性。
偏振 矢量光场 偏振调控 Stokes-Mueller矩阵 波片 polarization vector light field polarization control Stokes-Mueller matrix wave plate 红外与激光工程
2018, 47(12): 1207001
1 长春理工大学 光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 中国人民解放军32142部队72分队, 河北 保定 071000
深紫外光刻投影物镜是光刻机的核心部件, 然而无论是照明光场偏振态的空间分布, 还是光刻投影物镜自身的偏振像差都将改变光束的紧聚焦特性, 对成像质量造成不可忽略的影响。基于三维琼斯矩阵, 把偏振像差函数推广到三维空间, 建立了三维相干光场中偏振像差的评价方法, 并分析了典型的偏振敏感光学系统——深紫外光刻投影物镜的三维偏振像差, 详细阐述了其物理意义。研究发现: 三维偏振像差函数的光瞳分布与视场、光学薄膜以及光学系统的自身结构密切相关。深入讨论了光学薄膜及偏振效应对光刻投影物镜成像质量的影响, 进一步研究了照明光场的偏振态分布与光学系统波像差的关系, 研究表明: 光学薄膜引入的附加位相将导致光刻投影物镜的像质明显下降, 而采用径向矢量光场照明可以改善成像质量。
偏振 光刻投影物镜 偏振像差 像质评价 波像差 polarization lithographic projection lens polarization aberration image quality evaluation wavefront aberration 红外与激光工程
2018, 47(8): 0818006
河南科技大学物理工程学院,洛阳市光电功能材料重点实验室,河南 洛阳 471003
在循环三腔-原子系统中,采用旋波近似,得到有效哈密顿量,进而实现了三比特量子相位门。在操作过程中,原子和腔模分别处于基态和真空态,相位门不受退相干效应的影响。为相位门的实现、网络量子信息处理和集成量子计算提供了可行的方案。
虚拟激发 腔-原子系统 量子相位门 旋波近似 Virtual excitation Cavity-atom system Quantum phase gate the Rotating wave approximation