中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室, 上海 201800
国家自然科学基金(61178006,11274327)、上海市浦江人才计划(12PJ1409300)、国家青年计划
超快光学 脉冲整形 液晶空间光调制器 多光子脉冲内干涉相位扫描
浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州310027
提出了一种新的基于结构光投影的光学轮廓术的测量算法。该算法利用Hilbert变换和Mexican Hat小波变换进行相位提取,利用小波变换的平滑功能实现初步滤噪和消除高次谐波。然后利用基于截断相位差统计分布和区域生长算法进行解包,并通过对无效点的判断和解包后的邻域平滑实现了准确的相位解包。文中通过仿真计算证明了该方法较其他光学轮廓术有更强的噪声抑制能力,并实验验证了其较高的测量精度。
光学轮廓术 希尔伯特变换 小波变换 区域生长 optical profilometry Hilbert transformation wavelet transformation region growing
