1 北方夜视技术股份有限公司 南京分公司,江苏 南京 211100
2 江苏贵研电子有限公司,江苏 盐城 224000
为满足高增益、低噪声微通道板要求的大长径比皮料玻璃管,采用精密机械整形冷加工工艺提高皮料管的几何均匀性,实现微通道板的性能提升。通过改善机床加工误差、对刀误差以及设计合适的机动夹紧机构可有效控制皮料管内圆精磨加工精度。对磨头转速、背吃刀量、轴向进刀速度及金刚砂磨头粒度4个水平因子开展L16正交试验,得出背吃刀量是影响皮料管内圆精磨加工表面质量的主要因素。选择合适的抛光工艺及工装夹具,最终将皮料管的尺寸变化量控制在1%以内,表面粗糙度Ra值有效控制在0.02 μm。通过Φ25 /6型微通道板制板试验,结果表明:减小皮料管的几何尺寸偏差在一定程度上提高了微通道板阵列一致性、开口面积比一致性,以及增益均匀性,对制造高性能微通道板有较好的借鉴作用。
皮料玻璃管 冷加工 大长径比 微通道板 cladding-tube cold working large aspect ratio micro-channel plate
1 微光夜视技术重点实验室,陕西 西安 710065
2 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
3 北方夜视技术股份有限公司南京分公司,江苏南京 210006
微通道板(简称MCP)是决定像增强器信噪比的关重件,MCP 的噪声因子是对MCP 噪声特性进行评价研究的主要参数。通过对不同材料、不同腐蚀工艺、不同烧氢工艺制备的MCP 以及不同工作条件下MCP 的噪声因子进行测试分析,研究不同制备工艺、不同工作条件下MCP 的噪声特性,最终得出了最优噪声性能的MCP 制备工艺和工作条件,结果表明采用B 材料,采用混合类腐蚀液腐蚀工艺,尽可能长的烧氢时间,可获得较低噪声因子的MCP,同时适当增加入射电子能量和微通道板工作电压以改善通道板噪声特性,提高像管成像质量,这些研究成果为进一步降低MCP 噪声因子提供了理论和工艺指导。
微通道板 噪声因子 MCP 工作条件 micro-channel plate (MCP) noise factor MCP preparation process of MCP working conditions of MCP