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材料与薄膜
激光化学气相沉积非晶硅
袁加勇 陈钰清 陈曾济 赵方毅 王颖 
作者单位
摘要
浙江大学光仪系, 杭州 310027
本文报道了CO2激光化学气相沉积非晶硅的实验研究。实验结果表明,非晶硅的沉积速率与气室气压和基片温度密切相关。用各种手段测试了样品的性质,证实沉积得到的薄膜确是非晶硅,而且具有良好的光电导性。
激光 沉积 非晶硅 
PDF全文 Full Text
中国激光
1990, 17(s1): 164
激光器件与激光物理
激光增强电镀铜的实验研究
袁加勇 王静环 陈琪 陆茵 赵方毅 
作者单位
摘要
浙江大学光仪系
PDF全文 Full Text
中国激光
1986, 13(9): 581
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