中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
通过对共焦三维形貌检测术的分析，根据超分辨理论，在共焦系统中加入环形光瞳滤波器，以期延长系统的动态检测范围，并提高系统的横向分辨率。理论和实验结果表明该方法在适当牺牲轴向分辨率的条件下，能有效地延长系统的动态检测范围，且提高其横向分辨率。
共焦三维形貌检测术 超分辨 环形光瞳滤波器
对于三区位相光瞳滤波器与单透镜系统相结合的系统,分析了在给定斯特耳比S后有、无光瞳滤波器时的超分辨特性,并据此给出了一个模拟计算实例.由于单透镜系统加上该滤波器时旁瓣强度太大,因此将一个特殊光瞳加入共焦显微成像系统实现好的超分辨效果.
超分辨 位相型滤波器 共焦扫描成像系统
提出一种改进的漏光型环形光瞳滤波器以期达到三维超分辨效果。对该光瞳滤波器与单透镜系统相结合的横向和轴向特性进行了详细分析，并给出了一个具有三维超分辨特性的光瞳实例。结果表明这种改进的漏光型光瞳滤波器具有三维超分辨能力，由于其轴向旁瓣强度太大，故利用共焦扫描成像系统点扩散函数乘积性抑制旁瓣，并取得较好的三维超分辨效果。
三维超分辨成像 光瞳滤波器 共焦扫描成像系统
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
给出了一种新型滤波器。 它既能提高系统的轴向分辨率又不影响其横向分辨率。 利用这种滤波器还可以控制远场旁瓣强度的最大值与主瓣强度最大值之比(M), 从而获得较好的超分辨效果。 还根据扩展的结果分析了光瞳滤波器的中间区对轴向分辨率的影响。
超分辨 光瞳滤波器 轴向分辨率
