1 华东师范大学 电子工程系 极化材料与器件教育部重点实验室,上海 200241
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
3 温州医科大学 信息与工程学院生物医学工程学系, 浙江 温州 325035
采用溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同镧掺杂浓度BiGaO3(LxBGO, 0≤x≤0.1)薄膜.X-射线衍射(XRD)表明该属于正交晶系的多晶薄膜, 原子力显微镜(AFM)图像显示样品表面具有很好的平整性.采用椭圆偏振技术对其光学性质进行了详细的研究, 发现其光学常数符合Adachi色散模型.进一步发现其禁带宽度随着镧掺杂浓度的增加而增加, 该规律与理论预言相吻合.有关LxBGO材料的研究为铋基光电器件如紫外探测器的实现提供物理基础支持.
椭圆偏振光谱 光学性质 光学常数 光学禁带宽度 BiGaO3 BiGaO3 spectroscopic ellipsometry optical properties optical constants optical band gap
