1 昆明北方红外技术股份有限公司，云南昆明 650217
2 中国人民解放军 32228部队，福建厦门 361000
3 昆明物理研究所，云南昆明 650223
本文采用透射光谱法测量 Ge基底类金刚石薄膜(Diamond-like carbon，DLC)的光谱曲线。应用测量的光谱曲线，基于模拟退火算法，构建目标优化函数，通过光谱反演法得到薄膜的厚度、折射率、消光系数。该方法得到的 Ge基底类金刚石膜的光学参数与椭偏仪测试结果比对，折射率误差小于 1%，厚度误差小于 2%。并且将薄膜的光学参数带入透过率理论计算模型，得到的 Ge基底类金刚石薄膜透射光谱曲线和实际测试曲线的误差小于 2%。该方法只需测量透射光谱曲线，通过计算就能得到薄膜光学参数，对光学薄膜设计和加工具有重要指导意义。
类金刚石薄膜 透射光谱 薄膜厚度 折射率 消光系数 DLC film, transmission spectral, film thickness, r
