1 中国电子科技集团公司第二十九研究所, 四川 成都 610036
2 中国科学院半导体研究所, 北京 100083
基于三维时域有限差分法, 对半径为5 μm的径向直连波导微腔激光器的模式及定向输出特性进行研究, 得到了波长在1550 nm附近的高品质因子(Q)横电模的Q值与光场分布特性。基于半导体平面加工工艺制备了AlGaInAs/InP圆盘形微腔激光器, 微腔半径为5 μm, 波导宽度为1 μm。该激光器在298 K下实现了连续单模输出, 阈值电流为4 mA。在注入电流为9 mA时, 激光器的边模抑制比可达33.4 dB。基于速率方程拟合了激光器模式强度随注入电流的变化, 得到激光器的自发辐射因子约为5.5×10-3。
激光器 半导体激光器 微腔 时域有限差分法
