给出了激光校正的原理和激光测量方法,并用于某型号继电器,具体测试了其簧片气隙的大小和分布情况.利用继电器金属簧片进行了大量的激光校正测试试验,测试结果表明:激光照射后,簧片得到的校正量h与激光测量点到激光校正点的间距x 2成正比例线性关系,可用h=kx2近似表示;而激光功率P和照射时间t与簧片获得的校正量h之间则大致成抛物线关系,起始时功率越大,时间越长,校正量越大,但过了拐点之后情况则相反.测试结果同时表明:在性能指标范围内,激光校正并不会影响继电器簧片的机械寿命.分析和计算证明,选择合适的激光功率P与时间参数t,利用激光对该继电器的簧片气隙进行校正是可行的;结合气隙大小的测试数据分析可知,生产线上绝大多数继电器的簧片气隙调整只需通过静簧片的激光校正就能得以实现,与手工校正相比具有较高的校正效率.

研究了磁悬浮进给机构在进给运动时的磁力耦合现象.进给机构的磁悬浮系统采用了具有自动归中作用的V型导轨结构,保证了机构进给运动的导向精度,可应用于光刻机等精密光机系统,且满足超净无尘及精密定位要求.通过分析机构磁悬浮系统中电磁铁的磁力分布,给出了耦合磁力的计算公式.分析结果表明:磁悬浮系统在其控制过程中存在着磁力耦合,具体表现为:如果进给运动时平台在水平方向发生偏移,那么左右两侧电磁铁的磁力在水平及水平垂直方向将产生相互耦合作用;而垂直方向的偏移不会引起磁力的耦合.在控制系统中引入补偿器后,可使系统解耦,因产生的耦合磁力很微小,可以忽略不记.